特許
J-GLOBAL ID：201703017772929410

スクライブ方法及びスクライブ装置

発明者：
船城 明

船城 明 について


出願人/特許権者：
坂東機工株式会社

坂東機工株式会社 について


代理人 (1件)： 高田 武志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-203947
公開番号（公開出願番号）：特開2017-019290
出願日： 2016年10月17日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
要約：
【課題】ガラス基板の位置決めにおける位置ズレ、角度ズレ等に関係がなく、更に、スクライブヘッドの移動機構部の熱膨張機械誤差に影響されることなく、アライメントマークの実際の位置に基準し、予定位置へ精確にスクライブラインが形成できるスクライブ方法及びスクライブ装置を提供すること。【解決手段】スクライブ方法及びスクライブ装置1は、スクライブヘッドと一体として座標系を移動するCCDカメラ10を備え、3点のアライメントマークについて、CCDカメラ10のカメラセンサーを合せ、3点のアライメントマークのマークセンターの座標を計測し、このマークセンター座標とカメラセンターとの誤差を検出し、この誤差に基いて、かつ、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークのマークセンターの実際の座標をワーク座標系Z’に変換し、この変換ワーク座標系Z’においてスクライブを動作させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
テーブル上面に、ガラス基板を位置決めするところの直交X、Y基準線が設けられ、この基準線に基づいてX、Y座標系をスクライブヘッドが移動して、位置決めしたガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法において、スクライブヘッドと一体として座標系を移動するCCDカメラを備え、ガラス基板を位置決めした状態で、CCDカメラを移動し、ガラス基板上に記され、直交配置関係にある少なくとも3点のアライメントマークの設定座標M1(X=X1、Y=Y1)、M2(X=X2、Y=Y1)、M3(X=X1,Y=Y3)に、CCDカメラを合わせ、それぞれの少なくとも3点のアライメントマークのマークセンターの座標を計測し、前期アライメントマークの設定座標との誤差を検出し、この誤差に基づいて、また、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークM1のマークセンター実際の座標を(X=0、Y=0)に、アライメントマークM2のマークセンター実際の座標を(X=X2-X1、Y=0)に、アライメントマークM3のマークセンター実際の座標を(X=0、Y=Y3-Y1)としたワーク座標系Z’に変換し、この変換ワーク座標系Z’においてスクライブを動作させるスクライブ方法。
IPC (3件)：
B28D 5/00 ,  C03B 33/037 ,  H01L 21/301
FI (4件)：
B28D5/00 Z ,  C03B33/037 ,  H01L21/78 G ,  H01L21/78 C
Fターム (19件)：
3C069AA03 ,  3C069BA01 ,  3C069BC07 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069CB01 ,  3C069CB05 ,  3C069EA02 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC11 ,  4G015FC14 ,  5F063AA02 ,  5F063BA48 ,  5F063DD34 ,  5F063DE06 ,  5F063DE33
引用特許：
審査官引用 (2件)

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