特許
J-GLOBAL ID:201103079088448269

基板のスクライブ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 玉利 冨二郎 ,  立川 登紀雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-241732
公開番号(公開出願番号):特開2011-178651
出願日: 2010年10月28日
公開日(公表日): 2011年09月15日
要約:
【課題】カッタにより入れる切断線の正確なラインを保障できる基盤のスクライブ装置を提供する。【解決手段】基板を保持するテーブル3の走行路の直上を横切るガイドレール22にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降するように設けたスクライブ治具と、上記各スライダに上記基板の各スクライブ位置マークa及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラ31とからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量をテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記スクライブ治具での短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させてスクライブ完了時にスクライブ中心線とスクライブ基準中心との距離から算出される補正値を次回のスクライブのためにスクライブ治具の移動距離に加減算する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
往復走行するように設けた走行体と、この走行体上に旋回手段により平面上で旋回すると共に、載置した大判な基板を保持するように設けたテーブルと、このテーブルの走行路の直上を横切るガイドレールに横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段により昇降するように設けたスクライブ治具と、上記各スライダに上記基板の各スクライブ位置マーク及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラとからなり、上記カメラによる上記基板のアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによる上記基板のスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を算出して上記横移動手段によりスクライブ線座標に上記スライダを移動させるように連動させてスクライブ治具によりスクライブし、スクライブ完了時にスクライブ中心線とスクライブ基準中心との距離から補正値を算出して、この補正値を次回のスクライブのためにスクライブ治具の移動距離に加減算するようにしたことを特徴とする基板のスクライブ装置。
IPC (5件):
C03B 33/03 ,  C03B 33/027 ,  C03B 33/037 ,  B28D 1/24 ,  B28D 5/00
FI (5件):
C03B33/03 ,  C03B33/027 ,  C03B33/037 ,  B28D1/24 ,  B28D5/00 Z
Fターム (12件):
3C069AA03 ,  3C069BA04 ,  3C069BC07 ,  3C069CA11 ,  3C069EA01 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC04 ,  4G015FC07 ,  4G015FC10 ,  4G015FC14
引用特許:
審査官引用 (4件)
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