特許

J-GLOBAL ID：201703017846290611

プラズマ反応器及びプラズマ電極板

発明者： 庭屋 直生 ,  灘浪 紀彦 ,  坂井 茂仁
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 渥美 久彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-240209
公開番号（公開出願番号）：特開2017-107717
出願日： 2015年12月09日
公開日（公表日）： 2017年06月15日
要約：

【課題】隣接する電極板間での電界強度の低下を防止することにより、プラズマを確実に発生させることができるプラズマ反応器を提供すること。【解決手段】本発明のプラズマ反応器は、誘電体23に電極24を内蔵してなる電極板20を、互いに隙間を有するように積層配置することにより構成され、隣接する電極板20間に電圧が印加されたときにプラズマを発生する。電極24には、電極24の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔33が設けられる。誘電体23は、電極24の外表面に沿うようにして電極24を覆っており、主面21及び裏面22に凹凸51,61を有している。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

主面及び裏面を有する板状の誘電体に電極を内蔵してなる複数の電極板が、互いに隙間を有するように積層配置され、隣接する前記電極板間に電圧が印加されたときにプラズマを発生するプラズマ反応器であって、 前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、 前記誘電体は、前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有している ことを特徴とするプラズマ反応器。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  F01N 3/08 ,  F01N 3/01 ,  B01D 53/92

FI (7件)：

H05H1/24 ,  F01N3/08 C ,  F01N3/01 ,  B01D53/92 242 ,  B01D53/92 280 ,  B01D53/92 222 ,  B01D53/92 300

Fターム (34件)：

2G084AA18 ,  2G084BB06 ,  2G084BB21 ,  2G084BB36 ,  2G084CC08 ,  2G084CC19 ,  2G084CC34 ,  2G084DD01 ,  2G084DD15 ,  2G084DD21 ,  2G084DD22 ,  2G084DD25 ,  2G084DD32 ,  2G084DD63 ,  2G084DD64 ,  2G084DD68 ,  3G091AA02 ,  3G091AB14 ,  3G091BA01 ,  3G091BA13 ,  3G091BA14 ,  3G091BA15 ,  3G091BA19 ,  3G190AA02 ,  3G190BA01 ,  3G190CA21 ,  4D002AA08 ,  4D002AA12 ,  4D002AA40 ,  4D002AC10 ,  4D002BA07 ,  4D002BA14 ,  4D002GA01 ,  4D002GB20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガス改質装置、排気浄化システム、空気清浄機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-180991   出願人：株式会社デンソー
• 内燃機関の排気浄化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-319312   出願人：株式会社デンソー
• セラミックプラズマ反応器、及びプラズマ反応装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-007181   出願人：日本碍子株式会社