X線回折装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-157776
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022109
特許番号：特許第6078249号
出願日： 2012年07月13日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空チャンバ内に、電子を放出するカソードと、当該カソードから放出された電子が衝突することによりX線を発生するアノードと、前記アノードを軸回りに回転させる回転機構と、を備え、当該アノードが前記軸と同軸に設けられた円筒面状のターゲット面を有したX線発生装置と、前記X線発生装置から出射したX線を試料に向けて反射させるミラーと、前記ミラーを保持するミラー台と、試料を保持する試料台と、試料からの回折X線を検出するX線検出器と、を有し、前記X線発生装置と前記ミラー台とが、同一ベース上に位置決めされて固定されており、前記X線発生装置は、前記カソードから放出された電子に前記真空チャンバの外部から磁場を作用させることにより前記アノードに対する電子の衝突位置を、前記ターゲット面の周方向又は軸方向に調節可能な電子衝突位置調節手段を備え、前記電子衝突位置調節手段は、前記X線発生装置から出射したX線が前記ミラーに入射する入射角度及び入射位置を修整するように、前記アノードに対する電子の衝突位置を前記ターゲット面の周方向又は軸方向に調節することを特徴とする、X線回折装置。

IPC (5件)：

H01J 35/30 ( 200 6.01) , H01J 35/10 ( 200 6.01) , G01N 23/207 ( 200 6.01) , H05G 1/00 ( 200 6.01) , H05G 1/52 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01J 35/30 , H01J 35/10 A , G01N 23/207 , H05G 1/00 E , H05G 1/52 B

引用特許：

出願人引用 (6件)

波長選択式X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-320974 出願人：理学電機株式会社
X線管
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-142461 出願人：株式会社堀場製作所
平行X線ビームの取り出し方法及び装置並びにX線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-308188 出願人：理学電機株式会社

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審査官引用 (6件)

波長選択式X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-320974 出願人：理学電機株式会社
X線管
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-142461 出願人：株式会社堀場製作所
平行X線ビームの取り出し方法及び装置並びにX線回折装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-308188 出願人：理学電機株式会社

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