特許
J-GLOBAL ID：201703018244187263
フォトリソグラフィ用剥離液、及びパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
正林 真之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-210007
公開番号（公開出願番号）：特開2014-067752
特許番号：特許第6157081号
出願日： 2012年09月24日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)フッ化水素酸、(B)下記一般式(b-1)で表される塩基性化合物、及び(C)水を含有し、23°CにおけるpHが6.0以下又は8.5以上である、フォトリソグラフィ用剥離液。
(一般式(b-1)中、R1bからR5bは、それぞれ独立に水素原子、又は水酸基、カルボキシル基、アミノ基、若しくはホスホン酸基を有していてもよい炭素数1〜6のアルキル基を示し、R1bからR5bの少なくとも1つは水素原子である。Y1b及びY2bは、それぞれ独立に炭素数1〜3のアルキレン基を示し、nは0〜5の整数を示す。nが2以上のとき、複数のR5b同士及び複数のY1b同士は互いに同一であっても異なっていてもよく、R5b同士が相互に結合して環構造を形成してもよい。)
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/42 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/30 572 B
, G03F 7/42
, H01L 21/304 647 A
, H01L 21/304 647 Z
