電気機械変換装置及びその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部琢磨 , 黒岩創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-081493
公開番号（公開出願番号）：特開2016-178648
出願日： 2016年04月14日
公開日（公表日）： 2016年10月06日
要約：

【課題】電気機械変換装置の振動膜の特性のばらつきを低減する。【解決手段】本発明の電気機械変換装置は、9個のセル構造2を配列して構成されている。セル構造2は、基板11上に形成される第一の絶縁膜12、第一の電極13、第二の絶縁膜14を有する。さらに、第一のメンブレン16と第二の電極17と第二のメンブレン18とで構成される振動膜を有している。第一のメンブレン16は、間隙側(キャビティ15側)のメンブレンであり、メンブレン支持部19により支持されている。第二のメンブレン18は、キャビティ15とは反対側のメンブレンである。振動膜は、第二の絶縁膜と間隙であるキャビティ15を隔てて配置されている。第一の電極13と第二の電極17とは、キャビティを隔てて対向している。前記第一の電極は、表面粗さの二乗平均平方根値が6nm以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された第一の電極と、前記第一の電極と間隙を隔てて形成されたメンブレンと、前記メンブレン上に形成され前記第一の電極と対向する第二の電極と、を有する振動膜と、を備える電気機械変換装置であって、前記第一の電極は、表面粗さの二乗平均平方根値が6nm以下であることを特徴とする電気機械変換装置。

IPC (4件)：

H04R 19/00 , H04R 31/00 , B81B 3/00 , B81C 1/00

FI (4件)：

H04R19/00 330 , H04R31/00 330 , B81B3/00 , B81C1/00

Fターム (20件)：

3C081AA01 , 3C081BA22 , 3C081BA30 , 3C081BA45 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081CA03 , 3C081CA13 , 3C081CA28 , 3C081CA29 , 3C081DA03 , 3C081DA06 , 3C081DA07 , 3C081DA29 , 3C081DA30 , 3C081DA45 , 3C081EA21 , 5D019AA07 , 5D019DD01 , 5D019HH01

引用特許：

審査官引用 (4件)

容量型機械電気変換素子の製造方法、及び容量型機械電気変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-057263 出願人：キヤノン株式会社
容量型機械電気変換素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-121006 出願人：キヤノン株式会社
MEMSデバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-214849 出願人：株式会社東芝

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