物体の少なくとも1つの寸法を測定する方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-131200
公開番号（公開出願番号）：特開2017-078705
出願日： 2016年07月01日
公開日（公表日）： 2017年04月27日
要約：

【課題】製造された物体、特に素材の除去または素材の堆積により製造された物体の測定の正確性を向上する測定方法を提供する。【解決手段】第1軸2を有する物体1の少なくとも1つの寸法Lを測定する方法であって、光センサ111を含み第2光軸113を有する第1光学システム11の使用を含む方法において、物体1が第1光学システム11に対して動いているときに、特に第2軸113に対する第1軸2の角運動及びまたは第1軸2周りの物体1の回転運動及びまたは第2軸113に沿った物体1の並進運動中に、光センサ111から少なくとも1つの連続データを得るステップと、少なくとも1つの寸法を数値化するために、少なくとも1つの連続データを処理するステップと、を含む、測定方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1軸(2)を有する物体(1)の少なくとも1つの寸法(L)を測定する方法であって、光センサ(111)を含み第2光軸(113)を有する第1光学システム(11)の使用を含む方法において、前記物体が前記第1光学システムに対して動いているときに、特に第2軸に対する第1軸の角運動、及びまたは第1軸周りの前記物体の回転運動、及びまたは第2軸に沿った前記物体の並進運動中に、前記光センサから少なくとも1つの連続データを得るステップと、前記少なくとも1つの寸法を数値化するために、前記少なくとも1つの連続データを処理するステップと、を含む、測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/04 , B23Q 17/20 , B23Q 17/24

FI (3件)：

G01B11/04 H , B23Q17/20 A , B23Q17/24 Z

Fターム (34件)：

2F065AA22 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA26 , 2F065AA30 , 2F065BB06 , 2F065BB15 , 2F065BB16 , 2F065CC10 , 2F065EE08 , 2F065EE11 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065HH03 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL59 , 2F065NN20 , 2F065PP13 , 2F065PP17 , 2F065PP18 , 2F065QQ01 , 2F065QQ17 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ42 , 2F065TT08 , 3C029BB02 , 3C029BB10 , 3C029EE20

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-091007
光ファイバ母材のコア部非円率測定方法。
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-045329 出願人：信越化学工業株式会社
測定装置、研磨状況モニタ装置、研磨装置、半導体デバイス製造方法、並びに半導体デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-365384 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (3件)

特開平1-091007
特開平1-091007
特開平1-091007

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