高パワー超短パルスファイバレーザ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：村山靖彦 , 実広信哉 , 阿部達彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-567474
公開番号（公開出願番号）：特表2017-507500
出願日： 2015年02月03日
公開日（公表日）： 2017年03月16日
要約：

高パワー単一モード超短パルスファイバレーザシステムは、離間したメインコンソールおよびレーザヘッドを備えた構成になっている。ファイバブースタは、メインコンソールとレーザヘッドの間に延び、それによって増幅ファイバおよび送達ファイバの両方として機能する、単一のアクティブファイバを備えた構成になっている。レーザヘッドは、ポンプ光を、逆伝搬方向に伝搬して、ファイバブースタの下流側端部に結合されるように向け直すことを可能にする構成を備える。この開示するレーザは、さらに、線形チャープファイバブラッググレーティングと、信号光のパルス持続時間を100fs〜100psecの範囲で制御可能に調整するように構成された調整可能パルスストレッチャとを含む。チャープパルスは、ボリュームブラッググレーティングとして構成されたコンプレッサによって、さらに広幅化される。

請求項（抜粋）：

超短パルスファイバレーザであって、自由空間にわたって延びる、単一モード(「SM」)線形偏波信号光のサブナノ秒パルスを伝搬方向に誘導する発光体がドープされた多モードコア(「MM」)を有するファイバブースタと、ポンプ光を前記伝搬方向に誘導し、前記自由空間にわたって前記ファイバブースタと同様に延びるポンプ光送達ファイバを備えるポンプと、前記ファイバブースタおよび前記ポンプ光送達ファイバの下流側領域を受ける携帯型レーザヘッドと、前記自由空間にわたって前記ファイバブースタおよび前記ポンプ光送達ファイバを取り囲む可撓性スリーブとを含み、前記携帯型レーザヘッドが、向け直されたポンプ光が前記MMコアの下流側端部に結合されるように、前記ポンプ光を逆伝搬方向に向け直し、前記伝搬方向に、実質的に単一の基本モードで増幅信号光を出力するように構成され、前記超短パルスファイバレーザが、前記ファイバブースタの上流側にあり、前記ファイバブースタに結合された線形チャープファイバブラッググレーティング(「FBG」)と、前記線形チャープFBGを支持し、前記信号光のパルス持続時間を所望のパルス持続時間範囲内で制御可能に調整するように前記FBGの長さの変化を引き起こすように動作可能な、調整可能パルスストレッチャとをさらに含む、超短パルスファイバレーザ。

IPC (8件)：

H01S 3/067 , H01S 3/098 , H01S 3/10 , H01S 3/094 , H01S 3/02 , G02B 6/26 , G02B 6/02 , G02B 6/42

FI (9件)：

H01S3/067 , H01S3/098 , H01S3/10 D , H01S3/0941 , H01S3/02 , G02B6/26 , G02B6/02 411 , G02B6/02 416 , G02B6/42

Fターム (36件)：

2H137AA13 , 2H137AB01 , 2H137AB06 , 2H137BA02 , 2H137BA04 , 2H137BA07 , 2H137BA13 , 2H137BA23 , 2H137BB02 , 2H137BB08 , 2H137BB17 , 2H137BC23 , 2H137BC24 , 2H137BC28 , 2H137BC51 , 2H137BC71 , 2H137CA22E , 2H137CC11 , 2H150AC19 , 2H150AC32 , 2H150AC37 , 2H150AD34 , 2H150AG04 , 2H150AG21 , 2H150AH33 , 5F172AM08 , 5F172DD03 , 5F172EE15 , 5F172EE16 , 5F172NN14 , 5F172NN17 , 5F172NQ23 , 5F172NQ53 , 5F172NR13 , 5F172NR14 , 5F172WW18

引用特許：

審査官引用 (3件)

検査修正装置、検査修正方法およびファイバレーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-287364 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
ファイバ光増幅器
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-009315 出願人：株式会社ニコン
シングルモード・高出力・ファイバ・レーザ・システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-542189 出願人：アイピージーフォトニクスコーポレーション

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