特許
J-GLOBAL ID：201703018746627887
13族窒化物結晶の製造方法、及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-051056
公開番号（公開出願番号）：特開2014-177361
特許番号：特許第6175817号
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 アルカリ金属及びアルカリ土類金属の少なくとも一方と13族金属とを少なくとも含む混合融液中で該混合融液と窒素とを反応させて種結晶に窒化物結晶を結晶成長させる結晶成長工程を含む13族窒化物結晶の製造方法であって、
前記結晶成長工程において、前記混合融液及び前記種結晶の少なくとも一方を回転させ、該結晶成長工程における前記種結晶の主成長面内の前記混合融液の速度と前記種結晶表面の速度との相対速度を、予め定めた1または複数種類のパターンに沿って繰返し変動させると共に、前記パターンによって示される前記相対速度の最大値が0.01m/s以上であり、
前記パターンにおける前記相対速度が下記式(1)に示す関係を満たす期間T1と、前記相対速度が下記式(2)に示す関係を満たす期間T2と、が下記式(3)に示す関係を満たす、13族窒化物結晶の製造方法。
0≦V<0.01 ・・・式(1)
0.01≦V ・・・式(2)
T1<T2 ・・・式(3)
(式(1)及び式(2)中、Vは、相対速度(m/s)を示す。)
IPC (2件)：
C30B 29/38 ( 200 6.01)
, C30B 19/10 ( 200 6.01)
C30B 29/38 D
, C30B 19/10
