液中プラズマ処理装置および液中プラズマ処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-286076
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127705
特許番号：特許第6086363号
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液体中に配置されるワークにプラズマ処理を施すための液中プラズマ処理装置であって、マイクロ波発生器と、先端が前記液体中に配置され、前記マイクロ波発生器から出力されたマイクロ波を前記先端まで伝搬させる導波管と、前記導波管の前記先端に配置され、前記マイクロ波を前記液体中に放射することにより、前記液体から気泡を発生させかつ発生した前記気泡中にプラズマを誘起させるスロットアンテナと、前記スロットアンテナの前面に前記ワークを格納する処理空間を形成し、前記液体中において前記ワークと前記スロットアンテナとの間の距離を規定するスペーサーとを備える液中プラズマ処理装置。

IPC (1件)：