特許
J-GLOBAL ID:201703019126494603
検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-013130
公開番号(公開出願番号):特開2017-133907
出願日: 2016年01月27日
公開日(公表日): 2017年08月03日
要約:
【課題】潜在物を良好に検知して当該潜在物を良好に分析することが可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、測定対象に電波を照射する電波送信部と、前記測定対象からの前記電波を測定する電波測定部と、前記電波測定部によって測定された測定結果に基づく前記測定対象における分析対象物の検知結果を取得する検知部と、前記検知部によって取得された前記検知結果の示す前記分析対象物にテラヘルツ波を照射するテラヘルツ波送信部と、前記分析対象物からのテラヘルツ波を受信するテラヘルツ波受信部とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
測定対象に電波を照射する電波送信部と、
前記測定対象からの前記電波を測定する電波測定部と、
前記電波測定部によって測定された測定結果に基づく前記測定対象における分析対象物の検知結果を取得する検知部と、
前記検知部によって取得された前記検知結果の示す前記分析対象物にテラヘルツ波を照射するテラヘルツ波送信部と、
前記分析対象物からのテラヘルツ波を受信するテラヘルツ波受信部とを備える、検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (22件):
2G059AA05
, 2G059BB09
, 2G059CC13
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK10
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2G105AA01
, 2G105BB15
, 2G105BB16
, 2G105CC01
, 2G105DD02
, 2G105EE02
, 2G105HH04
, 2G105HH06
引用特許:
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