特許
J-GLOBAL ID：201703019834600197
液滴塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村井 隆
, 村井 弘実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-162238
公開番号（公開出願番号）：特開2015-029966
特許番号：特許第6183597号
出願日： 2013年08月05日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 塗布する液体が溜まる液溜まり部と、
前記液溜まり部から延び、先端が吐出口となる吐出路と、
先端が前記液溜まり部内で前記吐出路に向けて往復動するロッドと、
前記ロッドの基端側に設けられたピストンと、
前記ピストンを収容するシリンダと、
前記ピストンを、前記ロッドが前記吐出路に向かう方向に付勢する付勢手段と、
前記ピストンによって仕切られた前記シリンダ内の空間の少なくとも一方の空気圧を変化させて前記ピストンを往復動させるピストン駆動手段と、
前記吐出口から吐出される液滴のワンショットあたりの吐出量を、前記ピストンのストロークを変更することで調整する吐出量調整手段とを備え、
ある基板への塗布が完了すると前記吐出量調整手段により前記吐出量を調整し、前記調整が完了し且つ次に塗布する基板の準備が完了すると当該基板への塗布を開始する、液滴塗布装置。
IPC (2件)：
B05C 5/00 ( 200 6.01)
, B05C 11/10 ( 200 6.01)
B05C 5/00 101
, B05C 11/10
