特許

J-GLOBAL ID：201703020347004463

マイクロ回転速度センサおよびその操作方法

発明者： ガブリエレ カッツァニーガ ,  ルカ コロナート
出願人/特許権者： マキシム・インテグレーテッド・プロダクツ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人 エビス国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-277869
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145231
特許番号：特許第6190586号
出願日： 2012年12月20日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 互いに直交するX軸、Y軸、および、Z軸に関する複数の回転速度を検出するマイクロ回転速度センサであって、 基板(20)と、 前記基板(20)に対して変位可能であり、前記基板(20)と平行なX-Y平面に配置される複数の質量体と、 前記複数の質量体を前記基板(20)に取り付けるための複数のアンカー(2、13)と、 前記複数の質量体の少なくともいくつかを、少なくとも1つの隣接する質量体、または、少なくとも1つのアンカー(2、13)に連結するためのバネ(4、10)と、 前記基板(20)が偏向するときにコリオリ力を生じさせるべく、前記複数の質量体の少なくともいくつかをX軸方向に振動させる駆動素子と、 前記コリオリ力によって生じた前記複数の質量体の偏向を検出するためのセンサ素子(21)と、を備え、 前記複数の質量体は、駆動質量体(11)、X-Yセンサ質量体(8)、および、Zセンサ質量体(12)に区別され、 前記X-Yセンサ質量体(8)は、バネ(10)によって前記駆動質量体(11)および前記Zセンサ質量体(12)に連結され、 前記X-Yセンサ質量体(8)と前記駆動質量体(11)とは、前記駆動質量体(11)が前記X軸方向に振動するよう駆動されるときは、前記X-Yセンサ質量体(8)が前記駆動質量体(11)によって前記X軸と前記Y軸の交点を中心とした半径方向に振動するように連結される、 マイクロ回転速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/5747 ( 201 2.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01C 19/574 ,  B81B 3/00 ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 共振ジャイロスコープの連結構造
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2012-510283   出願人：コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-056713   出願人：株式会社村田製作所