特許
J-GLOBAL ID：201703021102538027

Fe-Co系合金スパッタリングターゲット材

発明者：
長谷川 浩之

長谷川 浩之 について

, 
澤田 俊之

澤田 俊之 について

, 
松原 慶明

松原 慶明 について


出願人/特許権者：
山陽特殊製鋼株式会社

山陽特殊製鋼株式会社 について


代理人 (1件)： 椎名 彊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-168787
公開番号（公開出願番号）：特開2015-036453
特許番号：特許第6161991号
出願日： 2013年08月15日
公開日（公表日）： 2015年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】M元素としてNb、Ta、Mo、Wの1種または2種以上を含有し、残部がFeとCoの1種または2種および不可避的不純物からなり、かつ原子比が0≦X≦100、4≦Y≦28である下記の式(1)を満たすFe-Co系合金からなるスパッタリングターゲット材であって、該スパッタリングターゲット材のミクロ組織が、FeとCoを主体とする相と、FeとCoの1種または2種とM元素からなる金属間化合物相を有し、FeとCoを主体とする相をFeとCoの1種または2種とM元素とからなる金属間化合物相がネット状に成長させることで包囲、分断させ孤立させることで包囲、分断させ孤立させたFeとCoを主体とする相の数が10000μm2 当り、300個以上であることを特徴とするFe-Co系合金からなるスパッタリングターゲット材。 (FeX -Co100-X )100-Y MY ... (1)
IPC (7件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C22C 38/00 ( 200 6.01) ,  C22C 19/07 ( 200 6.01) ,  G11B 5/667 ( 200 6.01) ,  G11B 5/851 ( 200 6.01) ,  C22C 33/02 ( 200 6.01) ,  C22C 1/04 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C23C 14/34 A ,  C22C 38/00 303 S ,  C22C 19/07 C ,  G11B 5/667 ,  G11B 5/851 ,  C22C 33/02 L ,  C22C 1/04 F
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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