特許
J-GLOBAL ID：200903034889442520
(CoFe)ZrNb/Ta/Hf系ターゲット材およびその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
椎名 彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-311129
公開番号（公開出願番号）：特開2008-127588
出願日： 2006年11月17日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】 本発明は、主に垂直磁気記録媒体における軟磁性下地膜など電子部品用の薄膜を形成するために用いられる(CoFe)ZrNb/Ta/Hf系ターゲット材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 Fe-Co系合金において、Fe:Coのat比が80:20〜0:100で合計80at%以上とし、Zr,Hf,NbおよびTaのいずれか1種または2種以上を20at%未満含有し、強磁性相であるCo-Fe相中に、該Zr,Hf,NbおよびTaのいずれか1種または2種以上を合計で0.5〜2at%固溶していることを特徴とする(CoFe)ZrNb/Ta/Hf系ターゲット材およびその製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
Fe-Co系合金において、Fe:Coのat比が80:20〜0:100で合計80at%以上とし、Zr,Hf,NbおよびTaのいずれか1種または2種以上を20at%未満含有し、強磁性相であるCo-Fe相中に、該Zr,Hf,NbおよびTaのいずれか1種または2種以上を合計で0.5〜2at%固溶していることを特徴とする(CoFe)ZrNb/Ta/Hf系ターゲット材。
IPC (6件)：
C23C 14/34
, C23C 14/06
, C22C 19/07
, C22C 38/00
, C22C 1/04
, G11B 5/851
C23C14/34 A
, C23C14/06 T
, C22C19/07 C
, C22C38/00 303S
, C22C38/00 304
, C22C1/04 B
, C22C1/04 F
, G11B5/851
4K018AA10
, 4K018BB04
, 4K018BC06
, 4K018BC10
, 4K018BC12
, 4K018EA11
, 4K018KA29
, 4K018KA43
, 4K029BA24
, 4K029BA26
, 4K029BC06
, 4K029BD11
, 4K029CA05
, 4K029DC04
, 4K029DC09
, 4K029DC39
, 5D112AA04
, 5D112BD03
, 5D112BD08
, 5D112FA04
, 5D112FB06
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
