特許
J-GLOBAL ID：201703021295851312

レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法

発明者：
奥間 惇治

奥間 惇治 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-014530
公開番号（公開出願番号）：特開2017-131949
出願日： 2016年01月28日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：
【課題】改質領域の形成位置を正確に制御可能なレーザ加工装置、及び、レーザ加工方法を提供する。【解決手段】 レーザ加工装置100は、加工対象物1を支持する支持台107と、レーザ光Lを出力するレーザ光源101と、加工対象物1にレーザ光Lを集光するための集光レンズ105を含む集光ユニット108と、表面3に交差する方向に沿って集光ユニット108を駆動するためのアクチュエータ110と、切断予定ライン5に沿って表面3の変位を測定する変位センサ114と、集光ユニット108の温度を検出する温度センサと、表面3の変位と集光ユニット108の温度とに基づいて、アクチュエータ110による集光ユニット108の駆動量を算出すると共に、駆動量に応じてアクチュエータが集光ユニット108を駆動するようにアクチュエータ110を制御する集光位置制御部200と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加工予定ラインに沿って加工対象物にレーザ光を照射することにより、前記加工対象物のレーザ加工を行うレーザ加工装置であって、 前記加工対象物を支持する支持台と、 前記レーザ光を出力するレーザ光源と、 前記支持台に支持された前記加工対象物に前記レーザ光を集光するための集光レンズを含む集光ユニットと、 前記支持台及び前記集光ユニットの少なくとも一方を前記加工対象物における前記レーザ光の入射面に沿って移動させ、前記加工予定ラインに沿って前記レーザ光の集光点を相対移動させる移動部と、 前記入射面に交差する方向に沿って前記集光ユニットを駆動するためのアクチュエータと、 前記加工予定ラインに沿って前記入射面の変位を測定する変位センサと、 前記集光ユニットの温度を検出する温度センサと、 前記変位センサが測定した前記入射面の変位と、前記温度センサが検出した前記集光ユニットの温度と、に基づいて、前記アクチュエータによる前記集光ユニットの駆動量を算出すると共に、前記移動部が前記集光点を相対移動させているときに前記駆動量に応じて前記集光ユニットを駆動するように前記アクチュエータを制御する制御部と、 を備えるレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/00 ,  B23K 26/53 ,  H01L 21/301 ,  B23K 26/046
FI (4件)：
B23K26/00 M ,  B23K26/53 ,  H01L21/78 B ,  B23K26/046
Fターム (28件)：
4E168AD01 ,  4E168AD11 ,  4E168AD18 ,  4E168AE01 ,  4E168CA01 ,  4E168CA07 ,  4E168CA11 ,  4E168CA13 ,  4E168CB03 ,  4E168CB07 ,  4E168CB11 ,  4E168DA43 ,  4E168JA12 ,  4E168JA13 ,  4E168JA14 ,  5F063AA01 ,  5F063AA21 ,  5F063AA48 ,  5F063BA43 ,  5F063BA45 ,  5F063BA47 ,  5F063BA48 ,  5F063DD27 ,  5F063DD31 ,  5F063DE17 ,  5F063DE35 ,  5F063DE37 ,  5F063FF01
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM