特許
J-GLOBAL ID：201703021315636820
流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-527043
特許番号：特許第6175437号
出願日： 2013年07月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1壁部と、第2壁部と、前記第1壁部と前記第2壁部との間に設けられた第3壁部とを備え、
前記第1壁部と前記第2壁部と前記第3壁部とで構成された内部が、流体が流れる流路としてなり、前記第1壁部から前記第2壁部にわたって切断したときの切断面に、前記流路の流路口が一方方向に並んで複数設けられており、
前記切断面における複数の前記流路口の全てを見たときに、前記流路口は、両端より中央に向かうにつれて漸次前記第1壁部側または前記第2壁部側にずれて配置されており、それぞれの前記流路口における前記第1壁部の主面までの距離および前記第2壁部の主面までの距離が中央に向かうにつれて変化していることを特徴とする流路部材。
IPC (3件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 23/473 ( 200 6.01)
H01L 21/302 101 G
, H01L 21/68 R
, H01L 23/46 Z
