本村大成

モトムラタイセイ | Motomura Taisei

研究分野 (3件)：薄膜、表面界面物性 , プラズマ科学 , プラズマ応用科学

研究キーワード (8件)：成膜 , 反応性スパッタリング , 薄膜 , スパッタリング , エッチング , プラズマ応用 , プラズマ , ヘリコンプラズマ

競争的資金等の研究課題 (5件)：

論文 (38件)：

Itsuki Misono, Taisei Motomura, Tatsuo Tabaru, Masato Uehara, Tetsuya Okuyama. Effect of plasma discharge pulse length for GaN film crystallinity on sapphire substrate by high density convergent plasma sputtering device. Journal of Vacuum Science & Technology A. 2024
Yuichi Kurashima, Atsuhiko Maeda, Naoto Oshima, Taisei Motomura, Takashi Matsumae, Mitsuhiro Watanabe, Hideki Takagi. Ultra-High Vacuum Cells Realized by Miniature Ion Pump Using High-Efficiency Plasma Source. Sensors. 2024
Kenshin Takemura, Taisei Motomura, Wataru Iwasaki, Nobutomo Morita. Fabrication of Highly Active Nanoneedle Gold Electrode Using Rose Petals for Electrochemical Detection of Arsenic(III). ACS Applied Nano Materials. 2023. 6. 17. 15879-15886
Taisei Motomura, Kenshin Takemura, Toshimi Nagase, Nobutomo Morita, Tatsuo Tabaru. Suppression of substrate temperature in DC magnetron sputtering deposition by magnetic mirror-type magnetron cathode. AIP Advances. 2023. 13. 2
Yuichi Kurashima, Taisei Motomura, Shinya Yanagimachi, Takashi Matsumae, Mitsuhiro Watanabe, Hideki Takagi. High-Efficiency Plasma Source Using a Magnetic Mirror Trap for Miniature-Ion Pumps. Sensors. 2023

MISC (44件)：

倉島優一, 本村大成, 渡邉満洋, 柳町真也, 松前貴司, 高木秀樹, 日暮栄治. 微小空間における高効率プラズマ生成のための磁気回路設計. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2021. 2021A. 362-362
井口航平, 岩崎渉, 上原雅人, 大曲新矢, 本村大成, 森田伸友, 伊藤高廣, 村上直. AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2021. 2021A. 360-361
井上賢人, 是澤宏之, 楢原弘之, 石田秀一, 本村大成, 田原竜夫. 切削中のAE信号と機械学習を用いた加工状態の観察に関する研究. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2021. 2021S. 368-369
本村大成, 田原竜夫, 上原雅人. 高密度収束プラズマスパッタリング装置を用いたc軸配向窒化ガリウム薄膜の低温成膜. 日本表面真空学会学術講演会要旨集. 2021. 2021. 2Ca09Y
本村大成, 田原竜夫. 液体金属を用いたプラズマスパッタリング. 2020. 96. 12. 695-700

特許 (5件)：

学歴 (4件)：

経歴 (3件)：

委員歴 (6件)：

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受賞 (3件)：

所属学会 (4件)：

応用物理学会 , 日本表面真空学会 , エレクトロニクス実装学会 , プラズマ・核融合学会

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