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J-GLOBAL ID：201802210810113484   整理番号：18A0630544

X線光学断面顕微鏡法:薄膜の埋込み機能層および界面の可視化に向けて(I)

X-ray optical sectioning microscopy: towards visualization of buried function layers and interfaces in thin films (I)

著者 (4件)： ZHAO Wenyang (Tsukuba Univ.) ,  ZHAO Wenyang (NIMS) ,  SAKURAI Kenji (NIMS) ,  SAKURAI Kenji (Tsukuba Univ.)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.17a-F202-1  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *顕微鏡観察 ,  光学系 ,  *X線顕微鏡 ,  埋込み【挿入】 ,  界面 ,  可視化 ,  鉄 ,  不純物 ,  ニッケル ,  *金属薄膜 ,  炭素
準シソーラス用語： *X線顕微鏡法 ,  X線光学系

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： X線光学 ,  顕微鏡法 ,  薄膜 ,  埋込み ,  機能層 ,  界面 ,  可視化