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J-GLOBAL ID：201802214888409864   整理番号：18A0615406

熱可塑性プラスチックに及ぼすマイクロピラー製作のためのロールナノインプリントリソグラフィーへの熱ロール【Powered by NICT】

Thermal roll to roll nanoimprint lithography for micropillars fabrication on thermoplastics

著者 (4件)： Retolaza Aritz (Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain) ,  Juarros Aritz (Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain) ,  Ramiro Jorge (Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain) ,  Merino Santos (Surface Chemistry and Nanotechnologies Unit, IK4-Tekniker, Eibar 20600, Spain)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 193  ページ： 54-61  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,種々の熱可塑性プラスチックフィルム(ポリカーボネート,ポリメタクリル酸メチルおよびセルロースアセテート)のロールナノインプリントリソグラフィープロセスへの熱ロールを研究した。プロセス上のインプリントパラメータの影響を調べるために,二種類のマイクロピラー構造の作製プロセスはインプリント速度を固定し,インプリント温度と圧力を変えることによって行われてきたが,得られた微細構造膜の形態学的特性化を行った。さらに,膜の疎水性は,表面の機能性を評価するために測定した。研究した三種の重合体の中で,ポリカーボネート膜は両マイクロピラー形状のインプリンティングのための最良の性能を示したが,セルロースアセテートフィルムは最小のマイクロピラーを完全になかった。60μmピッチと40μm高さ柱から成るポリカーボネート膜は138°の静的水接触角の値を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： プロセスパラメータ ,  セルロースアセテート ,  *熱可塑性プラスチック ,  微細構造 ,  疎水性 ,  モルフォロジー ,  キャラクタリゼーション ,  重合体 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  ポリカーボネート ,  刷込
準シソーラス用語： 水接触角 ,  機能性 ,  *マイクロピラー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ロールナノインプリントリソグラフィーへの熱ロール ,  熱可塑性重合体 ,  プロセスパラメータの効果 ,  疎水性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱可塑性プラスチック ,  マイクロピラー ,  製作 ,  ロール