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J-GLOBAL ID：201802217311965261   整理番号：18A1490525

ヘリウムイオン顕微鏡におけるアクティブ電圧コントラストイメージングのためのその場電圧応用システム【JST・京大機械翻訳】

In situ voltage-application system for active voltage contrast imaging in helium ion microscope

著者 (5件)： Sakai Chikako (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Ishida Nobuyuki (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Nagano Shoko (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Onishi Keiko (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Fujita Daisuke (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 36  号： 4  ページ： 042903-042903-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,試料に選択電圧(約+5Vまで)を適用しながら,ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)観察を行うことができる電気的ポテンシャル観測のための新しい方法を示した。その場電圧印加システムは,高真空HIMチャンバで動作し,伝達棒,傾斜継手,x-,y-,z-軸機構,および伝達棒の端部における2つのプローブから成る。新しいシステムを用いて,MLCCの内部電極に印加した電圧(0.5~5V)を持つ多層セラミックコンデンサ(MLCC)の断面表面の二次電子(SE)画像を得た。印加電圧が1.5V以下のとき,SE画像の電位に対応する活性電圧コントラストを観測できた。この技術により,外部から試料に電圧を印加することが可能になり,Liイオン二次電池,太陽電池などのナノメートルスケールの電位分布の測定に利用できる。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電位 ,  *電圧 ,  画像 ,  *コントラスト ,  多層 ,  *イオン ,  *ヘリウム ,  電位分布 ,  プローブ ,  *顕微鏡 ,  二次電池 ,  *画像処理 ,  太陽電池 ,  二次電子 ,  チャンバ

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ヘリウム ,  イオン顕微鏡 ,  コントラスト ,  イメージング ,  応用