文献

J-GLOBAL ID：201802227412516688   整理番号：18A0200895

機械的性質と電気めっき金薄膜のミクロ組織との関係【Powered by NICT】

Relationship between mechanical properties and micro texture of electroplated gold thin films

著者 (3件)： Nakoshi Yutaro (Dept. of Finemechanics, Graduate School of Eng., Tohoku University, 6-6-11-716 Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai, Japan) ,  Suzuki Ken (Fracture and Reliability Research Institute, Graduate School of Eng., Tohoku University, 6-6-11-712 Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai, Japan) ,  Miura Hideo (Fracture and Reliability Research Institute, Graduate School of Eng., Tohoku University, 6-6-11-712 Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IMPACT  ページ： 58-61  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気めっき薄膜に現れる物理的性質の広い分布と変動と,残留応力と歪の局所分布は複雑になるべきであり,大きな局所的残留応力と歪は,半導体素子と配線材料におけるランダム損傷だけでなく半導体デバイスの電子機能シフトをもたらす。電気めっき金膜の原子配列に基づく結晶配向および結晶性のようなミクロ組織を評価し,機械的性質の変動を,ナノインデンテーション法を用いて測定した。これらの実験から,機械的性質の間の関係と電気めっき金薄膜の微小集合組織を詳細に調べた。は結晶度と粒径は膜と軟化と硬化の硬さの分布に関連し,局部的な結晶学的配向は,膜のYoung率の分布に関連していたことが分かった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *機械的性質 ,  結晶方位 ,  粒径 ,  結晶度 ,  *電気めっき ,  半導体素子 ,  硬度 ,  Young率 ,  *薄膜 ,  残留応力 ,  集合組織 ,  ナノインデンテーション
準シソーラス用語： 原子配列 ,  配線材料 ,  *金膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 機械的性質 ,  電気めっき ,  金薄膜 ,  ミクロ組織