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J-GLOBAL ID：201802227775971625   整理番号：18A0159841

プラズマ化学反応のためのICP/RFプラズマトーチ中の過程の数学的シミュレーション【Powered by NICT】

Mathematical Simulation of Processes in ICP/RF Plasma Torch for Plasma Chemical Reactions

著者 (2件)： Ivanov Dmitry V. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia) ,  Zverev Sergei G. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 45  号： 12  ページ： 3125-3129  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ化学反応のためのアルゴン-水素誘導結合プラズマ/ラジオ周波数誘導プラズマトーチにおけるプロセスの数学的シミュレーションの結果を提示した。この第1部では,様々なガスとそれらの混合物の,数前向き技術のに使用できるのためのプラズマ特性のシミュレーションと研究のための一連の論文を開始する。数学的シミュレーションの結果は,目的生成物を得るための有効性を増加させるためにアルゴン-水素プラズマ中の化学反応の機構に関する更なる研究を可能にした。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 誘導結合プラズマ ,  周波数 ,  *シミュレーション ,  *プラズマ化学反応 ,  *化学反応 ,  *プラズマトーチ ,  *トーチ
準シソーラス用語： 水素プラズマ ,  プラズマ特性 ,  *RFプラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ化学反応 ,  ICP ,  RFプラズマ ,  トーチ ,  過程 ,  数学 ,  シミュレーション