文献

J-GLOBAL ID：201802228032489516   整理番号：18A1789961

マルチフェーズプラズマ反応場-革新的な材料プロセス創製に向けて-

著者 (3件)： 榊原教貴 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  伊藤剛仁 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  寺嶋和夫 (東大 大学院新領域創成科学研究科)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 94  号： 9  ページ： 441-448  発行年： 2018年09月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマ中に固体,液体,超臨界流体などの凝縮系を混在させることによる,プラズマ反応場のさらなる展開が進められている。そこでは,プラズマと凝縮系が相互に影響を及ぼし合い,プラズマ反応場の状態を大きく左右するため,その両者を総合的に理解し制御することが不可欠である。本解説では,凝縮系が混相化したコロイド系としてのプラズマ反応場をマルチフェーズプラズマ反応場と定義し,反応場を包括的に捉え,その最近の動向と展望について我々の研究を中心に紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *反応場 ,  多相 ,  凝縮 ,  コロイド ,  分散【dispersion】 ,  ナノクラスタ ,  超臨界流体 ,  密度 ,  *プラズマ処理 ,  プラズマ ,  プラズマCVD ,  環境 ,  *プラズマ応用 ,  密度ゆらぎ ,  微小重力環境 ,  脂肪族アルコール ,  スルホン酸 ,  ナトリウム化合物 ,  脂肪族カルボン酸 ,  カルボン酸エステル
準シソーラス用語： *プラズマ反応場 ,  コロイド分散 ,  *プラズマプロセス ,  微小液滴プラズマ

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： アエロソル

引用文献 (57件)：

• T. Yoshida, Pure Appl. Chem. 66, 1223 (1994).
• M. Shigeta and A.B. Murphy, J. Phys D: Appl. Phys. 44, 174025 (2011).
• S. Stauss et al., Phys. Plasmas 22, 057103 (2015).
• S. Stauss et al., Plasma Sources Sci. Technol. 27, 023003 (2018).
• Q. Chen et al., J. Phys D: Appl. Phys. 48, 424005 (2015).

タイトルに関連する用語 (3件)： 反応場 ,  材料プロセス ,  創製