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J-GLOBAL ID：201802228061830850   整理番号：18A0118518

高濃度Alドープ4H-SiCのホール係数の温度依存性-ホール係数の反転と伝導機構との関係-

Temperature Dependent Hall Coefficient in Heavily Al-Doped 4H-SiC-Relationship between Inversion of Hall Coefficient and Conduction Mechanism-

著者 (14件)： 西畑凜哉 (大阪電通大) ,  竹下明伸 (大阪電通大) ,  今村辰哉 (大阪電通大) ,  高野晃大 (大阪電通大) ,  奥田和也 (大阪電通大) ,  小澤愼二 (大阪電通大) ,  日高淳輝 (大阪電通大) ,  松浦秀治 (大阪電通大) ,  JI Shiyang (産業技術総合研 先進パワーエレクトロニクス研究セ) ,  江藤数馬 (産業技術総合研 先進パワーエレクトロニクス研究セ) ,  児島一聡 (産業技術総合研 先進パワーエレクトロニクス研究セ) ,  加藤智久 (産業技術総合研 先進パワーエレクトロニクス研究セ) ,  吉田貞史 (産業技術総合研 先進パワーエレクトロニクス研究セ) ,  奥村元 (産業技術総合研 先進パワーエレクトロニクス研究セ)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 372(EID2017 11-29)  ページ： 9-12  発行年： 2017年12月15日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： オン抵抗の低いSiC nチャネルIGBTの実用化には,基板であるp⁺型SiCの低抵抗率化が必要不可欠である。Al濃度が1.6×10¹⁹cm^-3の6H-SiCにおいて,ホッピング伝導領域でホール係数が小さくなり,かつ符号が反転すると報告されている。しかし,Al濃度が2×10¹⁹cm^-3以上の高濃度p⁺型4H-SiC試料では,バンド伝導領域ですでにホール係数が小さくなり,かつ符号が反転することがわかった。また,ホール電圧が反転する温度は高濃度試料ほど高温側に移動することがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： 濃度 ,  *アルミニウム ,  *ドーピング ,  *炭化ケイ素 ,  係数 ,  *Hall効果 ,  *温度依存性 ,  *ホッピング伝導 ,  電気抵抗率 ,  実用化 ,  実験
準シソーラス用語： 高濃度 ,  4H-SiC ,  Hall係数 ,  伝導機構

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

引用文献 (12件)：

• 木本恒暢,半導体SiC技術と応用 第2版,松波弘之,大谷昇,木本恒暢,中村孝(編),p.14,日刊工業新聞社,東京,2011.
• S. Y. Ji, K. Eto, S. Yoshida, K. Kojima, Y. Ishida, S. Saito, H. Tsuchida, and H. Okumura, Hopping conduction range of heavily Al-doped 4H-SiC thick epilayers grown by CVD, vol.8, no.12, Appl. Phys. Express, pp.121302 1-4, December 2015.
• 竹下明伸,今村辰哉,高野晃大,奥田和也,松浦秀治,紀世陽,江藤数馬,児島一聡,加藤智久,吉田貞史,奥村元,′′高濃度Alドープ4H-SiCの伝導機構~抵抗率のドープ量・温度依存性評価~′′,応用物理学会先進パワー半導体分科会,vol.03,no.01,pp.150-151,Nov.2016.
• 竹下明伸,今村辰哉,高野晃大,奥田和也,松浦秀治,紀世陽,江藤数馬,児島一聡,加藤智久,吉田貞史,奥村元,′′高濃度Alドープ4H-SiCの伝導機構の評価と低抵抗率化の可能性′′,第64回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集,15p-F204-5,March 2017.
• 高野晃大,竹下明伸,今村辰哉,奥田和也,松浦秀治,紀世陽,江藤数馬,児島一聡,加藤智久,吉田貞史,奥村元,′′Hall測定による高濃度Alドープ4H-SiCの電気特性評価′′,応用物理学会先進パワー半導体分科会,vol.03,no.01,pp.148-149, Nov.2016.

タイトルに関連する用語 (8件)： 高濃度 ,  Al ,  ドープ ,  4H-SiC ,  ホール係数 ,  温度依存性 ,  反転 ,  伝導