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J-GLOBAL ID：201802229436071513   整理番号：18A0504698

非蒸発ゲッタポンプ用St707スパッタ合金膜の熱活性化過程におけるPdの表面修飾の効果

著者 (7件)： 三嶋東 (成蹊大) ,  出家広大 (成蹊大) ,  中野武雄 (成蹊大) ,  大家渓 (成蹊大) ,  菊地貴司 (高エネルギー加速器研究機構) ,  間瀬一彦 (高エネルギー加速器研究機構) ,  間瀬一彦 (総合研究大学院大)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 137th  ページ： 111  発行年： 2018年03月02日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ゲッタリング ,  ジルコニウム合金 ,  バナジウム含有合金 ,  鉄含有合金 ,  *金属薄膜 ,  パラジウム ,  表面改質 ,  活性化 ,  熱影響
準シソーラス用語： *非蒸発性ゲッタ ,  熱活性化

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (7件)： 蒸発 ,  ゲッタポンプ ,  スパッタ ,  合金 ,  熱活性化過程 ,  PD ,  表面修飾