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J-GLOBAL ID：201802230186180813   整理番号：18A0995149

TOF-SIMSと顕微鏡画像の主成分分析画像融合とピクセル還元による低強度二次イオン増強【JST・京大機械翻訳】

Principal component analysis image fusion of TOF-SIMS and microscopic images and low intensity secondary ion enhancement by pixel reduction

著者 (6件)： Takahashi Kazuma (Department of Materials and Life Science, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-kitamachi, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan) ,  Yamagishi Takayuki (Department of Materials and Life Science, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-kitamachi, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan) ,  Aoyagi Satoka (Department of Materials and Life Science, Seikei University, 3-3-1 Kichijoji-kitamachi, Musashino, Tokyo 180-8633, Japan) ,  Aoki Dan (Department of Biosphere Resources Science, Graduate School of Bioagricultural Sciences, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8601, Japan) ,  Fukushima Kazuhiko (Department of Biosphere Resources Science, Graduate School of Bioagricultural Sciences, Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8601, Japan) ,  Kimura Yoshishige (Department of Liberal Arts and Sciences, Kanagawa University of Human Services, 1-10-1 Heisei-cho, Yokosuka, Kanagawa 238-8522, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 36  号： 3  ページ： 03F113-03F113-6  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 飛行時間二次イオン質量分析(TOF-SIMS)は,高い空間分解能,約100nm,および詳細な化学情報を有する化学画像を提供する。しかしながら,より高い空間分解能の画像を得て,より高い感度を有する高質量二次イオンを検出することが,しばしば必要であり,数100Daより高い。本研究では,TOF-SIMS空間分解能を改善するために,より高い空間分解能を有する画像を用いた画像融合を主成分分析(PCA)に基づいて評価した。さらに,より低い強度を有する重要な二次イオンを効果的に検出するために,1つの画素の強度を,隣接するいくつかの画素を統合することによって強化した。画素縮小に従って,TOF-SIMSデータ行列のランクを減少させるべきである。TOF-SIMSデータのスパース性により,ロバストPCAのようなスパースモデリング技法を元のデータの分解に用いた。画像データ融合に関して,モデルサンプルのPCAスコア分布画像は,TOF-SIMSと顕微鏡画像のデータ融合の後,PCA負荷における有意な変化なしで空間分解能の改良を示した。低強度二次イオン検出の改良に関して,画素減少前後のPCA結果は,画素減少が重要な低強度二次イオンを効果的に検出するのに有用であることを示唆した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *画像 ,  化学情報 ,  ロバスト性 ,  *二次イオン ,  *画素 ,  データ融合 ,  *主成分分析 ,  空間分解能 ,  スパースモデリング ,  *TOF-SIMS
準シソーラス用語： スコア ,  スパース性 ,  *画像融合 ,  *顕微鏡画像 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (8件)： TOF-SIMS ,  顕微鏡画像 ,  主成分分析 ,  画像融合 ,  ピクセル ,  還元 ,  二次イオン ,  増強