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J-GLOBAL ID：201802230211582330   整理番号：18A0137915

MEMSセンサのためのNi-Fe(Co)-Ga磁気形状記憶合金の微小圧縮研究【Powered by NICT】

Micro-compression study of Ni-Fe(Co)-Ga magnetic shape memory alloy for MEMS sensors

著者 (10件)： Igawa Kengo (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chang Tso-Fu Mark (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chen Chun-Yi (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Umise Akira (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Nagoshi Takashi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Ibaraki 305-8564 Japan) ,  Tahara Masaki (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Inamura Tomonari (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Hosoda Hideki (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Chernenko Volodymyr A. (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Sone Masato (Laboratory for Materials and Structures, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSENS  ページ： 1-3  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きな磁場誘起歪と高い応答周波数を持っているので,磁気形状記憶合金(MSMAs)はマイクロアクチュエータやセンサに実装が期待されている。一方,金属材料の大きさはバルクサイズマイクロメータスケールに減少したとき,機械的応答は寸法変化に伴って変化した。,小型化機器に実装される形状記憶合金のマイクロスケール試験片の機械的性質を評価することが重要である。本研究では,Ni_50Fe_19Co_4Ga_27(at.%)MSMA単結晶の超弾性特性は,ミクロ圧縮試験を行って検討した。試料を集束イオンビーム法で作製したマイクロピラーであった。圧縮応力-ひずみ履歴依存性は約373Kでの臨界点付近でのヒステリシスの消失する傾向を広い温度範囲で典型的な超弾性挙動を示した。温度が~1.1MPa/Kの率であり,バルク合金の値に類似したマルテンサイト変態開始応力をシフトした。このように,研究した合金は,マイクロスケールまで,臨界後領域を含む,超弾性特性を保持した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 小型化 ,  温度依存性 ,  *形状記憶合金 ,  マルテンサイト変態 ,  *センサ ,  圧縮応力 ,  ヒステリシス ,  単結晶 ,  機械的性質 ,  集束イオンビーム ,  マイクロアクチュエータ ,  *合金 ,  弾性特性 ,  マイクロスケール ,  *磁気形状記憶合金 ,  改変 ,  性質
準シソーラス用語： マイクロピラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の金属組織学  (WB01040Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： MEMSセンサ ,  Ni ,  Fe ,  CO ,  Ga ,  磁気形状記憶合金 ,  微小 ,  研究