文献

J-GLOBAL ID：201802230283242287   整理番号：18A1699144

時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明

著者 (10件)： 西岡直樹 (大阪大) ,  西岡直樹 (大阪工大) ,  梅田悠史 (大阪工大) ,  船本祐介 (大阪工大) ,  島大地 (大阪工大) ,  倉前宏行 (大阪工大) ,  神村共住 (大阪工大) ,  堀邊英夫 (大阪市大) ,  吉村政志 (大阪大) ,  中村亮介 (大阪大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.20a-224A-3  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *フォトレジスト ,  時間分解分光法 ,  時間分解能 ,  半導体プロセス ,  リソグラフィー ,  *剥離剤 ,  残留物 ,  廃水処理 ,  有限要素法 ,  数値解析 ,  レーザアブレーション
準シソーラス用語： 液中レーザアブレーション

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分解 ,  解析 ,  レーザー照射 ,  レジスト ,  剥離現象