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J-GLOBAL ID：201802230783552817   整理番号：18A1913716

Pt触媒を用いたWO₃系多層薄膜NH₃ガスセンサの研究

Study on NH₃ Gas Sensors using a WO₃-based Multiple-layered Thin Film with Pt Catalyst

著者 (4件)： 森田翼 (東京電機大学 工学研究科) ,  佐野晃司 (東京電機大学 工学研究科) ,  山口富治 (東京電機大学 工学研究科) ,  原和裕 (東京電機大学 工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 138  号： 10  ページ： 471-476(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： NH₃ガスは環境と人間に悪影響を及ぼす有毒物質である。低レベルのNH₃は人体により生成され,尿と呼気の成分として放出される。したがって,NH₃ガスの検出は,人の健康状態を監視するために重要である。本研究では,Pt触媒を用いた新しいWO₃多層薄膜NH₃センサを開発した。Ptナノ粒子で被覆したWO₃薄膜によりNH₃ガスに対する感度を改善するのに成功した。さらに,空隙を有するWO₃多層薄膜は,感度を向上させ,最適動作温度を下げる効果を有する。ここで開発したセンサは1ppmという低いNH₃ガスを検出できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *白金触媒 ,  *酸化タングステン ,  *多層膜 ,  *アンモニア ,  *ガスセンサ ,  多層構造 ,  健康管理 ,  ヒト ,  *ナノ粒子 ,  高感度 ,  間隙 ,  *選択性 ,  応答特性 ,  *塗布 ,  最適化 ,  エッチング
準シソーラス用語： 体調管理 ,  *白金ナノ粒子 ,  感応膜 ,  ガス選択性 ,  実時間最適化

著者キーワード (10件)： NH_3カ ス ,  WO_3薄 ,  PT触 ,  空隙 ,  多層 ,  NH_3ガスセンサ ,  WO_3薄膜 ,  Pt触媒 ,  宇宙空間 ,  多層構造

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  貴金属触媒  (CB06122I)

引用文献 (11件)：

• (1) J. Deng, R. Zhang, L. Wang, Z. Lou, and T. Zhang : “Enhanced sensing performance of the Co₃O₄ hierarchical nanorods to NH₃ gas”, Sensors and Actuators B, 209, pp. 449-455 (2015)
• (2) B. Timmer, W. Olthuis, and A. van den Berg : “Ammonia sensors and their applications-a review”, Sensors and Actuators B, 107, pp. 666-677 (2005)
• (3) S. Abdulla, T. L. Mathew, and B. Pullithadathil : “Highly sensitive, room temperature gas sensor based on polyaniline-multiwalled carbon nanotubes (PANI/MWCNTs) nanocomposite for trace-level ammonia detection”, Sensors and Actuators B: Chemical, 221, pp. 1523-1534 (2015)
• (4) M. Shahabuddin, A. Sharma, J. Kumar, M. Tomar, A. Umar, and V. Gupta : “Metal clusters activated SnO₂ thin film for low level detection of NH₃ gas”, Sensors and Actuators B: Chemical, 194, pp. 410-418 (2014)
• (5) V. Srivastava and K. Jain : “Highly sensitive NH₃ sensor using Pt catalyzed silica coating over WO₃ thick films”, Sensors and Actuators B: Chemical, 133, pp. 46-52 (2008)

タイトルに関連する用語 (4件)： Pt触媒 ,  多層薄膜 ,  NH3ガス ,  研究