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J-GLOBAL ID：201802240511059523   整理番号：18A0948148

大電力パルススパッタ法による精密プレス金型内側面への高耐久性硬質膜の形成

著者 (1件)： 清水徹英 (首都大学東京 大学院システムデザイン研究科)
資料名： Form Tech Review  (Form Tech Review)
巻： 26  ページ： 138-142  発行年： 2017年03月31日 
JST資料番号： J0830A  ISSN： 0917-690X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・精密プレス金型の耐久性を改善する大電力パルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)を用いた硬質膜形成について報告。
・HiPIMS実験装置の概要,得た膜のキャラクタリゼーション。
・成膜した金型による実加工試験。
・HiPIMSにより得た膜は,優れた表面粗さ,押込硬さ,密着性および耐摩耗性を有することを確認。

シソーラス用語： *プレス金型 ,  精密加工 ,  *皮膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  表面粗さ ,  押込硬さ ,  耐摩耗性 ,  密着性
準シソーラス用語： *RFマグネトロンスパッタリング ,  *硬質膜

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (9件)：

• 清水徹英:塑性と加工,54-626(2013),235.
• 野村博郎:塑性と加工,56-650(2015),163.
• V. Kouznetsov, K. Macák, J.M. Schneider, U. Helmersson, I. Petrov: Surface and Coatings Technology, Vol. 122 (1999), 290.
• U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, A.P. Ehiasarian J.T. Gudmundsson: Thin Solid Films, Vol. 513 (2006), 1.
• K.Sarakinos, J. Alami, S. Konstantinidis: Surface and Coatings Technology, Vol. 204 (2010), 1662.

タイトルに関連する用語 (7件)： 大電力 ,  パルス ,  スパッタ法 ,  プレス金型 ,  内側面 ,  高耐久性 ,  硬質膜