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J-GLOBAL ID：201802242039503177   整理番号：18A1419266

アトムプローブによるCVD薄膜中の合金原子組成分析

著者 (9件)： 金泰雄 (東大 大学院) ,  百瀬健 (東大 大学院) ,  出浦桃子 (東大 大学院) ,  YUAN Tu (東北大 金属材料研) ,  清水康雄 (東北大 金属材料研) ,  外山健 (東北大 金属材料研) ,  井上耕治 (東北大 金属材料研) ,  永井康介 (東北大 金属材料研) ,  霜垣幸浩 (東大 大学院)
資料名： 東北大学金属材料研究所附属量子エネルギー材料科学国際研究センター共同利用研究経過報告書(CD-ROM)  (共同利用研究経過報告書(CD-ROM))
巻： 34  ページ： 79-80  発行年： 2017年 
JST資料番号： X0416B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： アトムプローブ ,  CVD ,  薄膜 ,  合金 ,  分析