Si Shuhao について
Technische Universitaet Ilmenau, IMN MacroNano, Micromechanical Systems Group, Germany について
Hoffmann Martin について
Ruhr-Universitaet Bochum, Chair Microsystems Technology, Germany について
Microelectronic Engineering について
複合材料 について
パターン形成 について
画像 について
ナノ構造 について
クロム について
レジスト について
熱分解 について
ナノメータ加工 について
酸素プラズマ について
ナノピラミッド について
ナノホール について
犠牲層 について
ナノパターン について
リフトオフ について
二層 について
ソフトUV-NIL について
二層リフトオフ について
ナノ加工 について
低温製造 について
調整可能な特徴サイズ について
ナノチューブ について
固体デバイス製造技術一般 について
二層 について
リフトオフ について
反転 について
トポグラフィー について
サイズ について