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J-GLOBAL ID：201802244086339470   整理番号：18A1043425

酸化アルミニウム薄膜容量性水分センサの長期ドリフトの研究【JST・京大機械翻訳】

Study of Long Term Drift of Aluminum Oxide Thin Film Capacitive Moisture Sensor

著者 (3件)： Kumar Shailesh (Electrical and Instrumentation Engineering Department, Thapar University, Patiala, India) ,  Islam Tarikul (Department of Electrical Engineering, Jamia Millia Islamia (A Central University), New Delhi, India) ,  Raina Kuldeep Kumar (School of Physics and Material Science, Thapar University, Patiala, India)
資料名： IEEE Transactions on Device and Materials Reliability  (IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻： 18  号： 2  ページ： 180-188  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1320A  ISSN： 1530-4388  CODEN： ITDMA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ドリフトは容量性湿度センサの重要な現象である。出力のドリフトにより,臨界応用のためのほとんどの計は,費用がかかり時間がかかる再較正を必要とする。RH湿度センサのドリフト現象のモデリングを種々の文献で報告した。しかし,著者らの知る限りでは,微量レベルの水分検出に利用されるセンサのドリフトについては今まで報告されていない。本論文では,微量水分センシング用のエージング容量センサの数学モデル,電気等価回路,および長期ドリフト解析を示した。3~100ppmの範囲の水分を検出するために,多孔質アルミナ酸化物薄膜を用いてセンサを作製した。長期ドリフトを研究するために,実験をほぼ1年の期間にわたって異なる運転条件下で行った。センサの応答挙動をモデルの助けを借りてシミュレートした。モデル応答を実験結果と比較して,提案したモデルは,古いセンサのドリフト解析,水和レベルの決定,および細孔内の水分凝縮に使用できる。実験結果は,乾燥剤中にセンサを保持したとき,最大平均ドリフトが1.50%だけ観察されたが,同様のセンサが開放高湿度雰囲気中に保たれたとき,最大長期ドリフトは~11.20%であることが分かった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 湿度センサ ,  臨界 ,  数学モデル ,  モデリング ,  *ドリフト ,  細孔 ,  凝縮 ,  *薄膜 ,  *酸化アルミニウム ,  *水分 ,  *センサ ,  水和 ,  乾燥剤 ,  等価回路
準シソーラス用語： 運転条件 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸化アルミニウム ,  薄膜 ,  容量性 ,  水分センサ ,  長期 ,  ドリフト ,  研究