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J-GLOBAL ID：201802244640457846   整理番号：18A0415929

先端計測技術と新技術開発 波長分散素子を用いたワンショット共焦点光学顕微鏡

著者 (8件)： 南川丈夫 (徳島大 大学院社会産業理工学研究部) ,  南川丈夫 (JST-ERATO) ,  長谷栄治 (高輝度光科学研究セ) ,  宮本周治 (徳島大 大学院先端技術科学教育部) ,  山本裕紹 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ) ,  山本裕紹 (JST-ERATO) ,  安井武史 (徳島大 大学院社会産業理工学研究部) ,  安井武史 (JST-ERATO)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 63  号： 3  ページ： 192-199  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・試料面の2次元空間情報の一方の空間軸をエンコードし他方をライン共焦点イメージングで計測するライン分光型ワンショット共焦点光学顕微鏡の紹介。
・試料面の2次元空間情報を全て波長でエンコードし光強度と位相の同時計測が可能な光コム型ワンショット共焦点光学顕微鏡の紹介。
・ライン集光型共焦点光学顕微鏡と波長/空間次元交換型共焦点光学顕微鏡を同時に実施するライン分光型ワンショット共焦点光学顕微鏡の基本原理と電子回路基板の非接触表面形状観察例。
・光コム型ワンショット共焦点光学顕微鏡とSiO₂ガラス上に堆積されたCr薄膜の観察例。

シソーラス用語： *光学顕微鏡 ,  *共焦点顕微鏡 ,  分散【dispersion】 ,  顕微鏡観察 ,  周波数
準シソーラス用語： 波長分散 ,  光コム

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (6件)： 計測技術 ,  開発 ,  波長 ,  ショット ,  共焦点 ,  光学顕微鏡