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J-GLOBAL ID：201802245167568989   整理番号：18A0994866

低・中真空領域における排気方程式の検証

An Examination of the Pumpdown Equation in the Low and Medium Vacuum Regions

著者 (3件)： 横川敬一 (大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻) ,  瀬戸泰平 (大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻) ,  福田常男 (大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 61  号： 5  ページ： 292-295(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コンダクタンス律速排気における低・中真空領域における排気曲線を研究した。Senda [H. Senda, SEI Technical Review 176, 1 (2010).] は,粘性流の下限近くで真空槽圧力が指数関数的減少した後,時間の逆数挙動に従うことを予測した。指数関数的減少と逆数的減少との圧力境界を「分岐圧力」として提案した。ここでは実験的に分岐圧力を見出し,定量的に理論推定値と比較した。実験結果は理論計算により得られた値とかなり良く一致した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *真空 ,  *排気 ,  *中真空 ,  *粘性流 ,  圧力 ,  *時間依存性 ,  方程式 ,  指数関数 ,  曲線 ,  圧力曲線 ,  *行為 ,  *流体流
準シソーラス用語： *低真空 ,  排気方程式 ,  分岐圧力

著者キーワード (10件)： ポンプダウン ,  粘性流 ,  分岐圧力 ,  相反 ,  境界 ,  ポンプダウン ,  粘性流 ,  分岐圧力 ,  相反 ,  境界

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (5件)：

• 1) 千田裕彦 : SEIテクニカルレビュー 176, 1 (2010).
• 2) 福田常男 : J. Vac. Soc. Jpn. 58, 325 (2015).
• 3) 横川敬一, 瀬戸泰平, 福田常男 : 日本真空学会 第58回真空に関する連合講演会, 3Cp02 (2017).
• 4) 宗像 健 : 化学工学 34, 922 (1970).
• 5) S.L. Thompson and W.R. Owens : Vacuum 25, 151 (1975).

タイトルに関連する用語 (4件)： 中真空 ,  排気 ,  方程式 ,  検証