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J-GLOBAL ID：201802248229328760   整理番号：18A0319914

フレキシブル基板上のCIGSの応力支援衝撃波誘起薄膜剥離

Stress-Assisted Shock-Wave-Induced Thin-Film Delamination (SWIFD) of CIGS on a Flexible Substrate

著者 (7件)： LORENZ Pierre (Leibniz Inst. of Surface Modification, Leipzig, DEU) ,  ZAGORANSKIY Igor (Leibniz Inst. of Surface Modification, Leipzig, DEU) ,  ZAJADACZ Joachim (Leibniz Inst. of Surface Modification, Leipzig, DEU) ,  EHRHARDT Martin (Nanjing Univ. Sci. & Technol., Nanjing, CHN) ,  HAN Bing (Nanjing Univ. Sci. & Technol., Nanjing, CHN) ,  BAYER Lukas (Leibniz Inst. of Surface Modification, Leipzig, DEU) ,  ZIMMER Klaus (Leibniz Inst. of Surface Modification, Leipzig, DEU)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 12  号： 2  ページ： 91-96 (WEB ONLY)  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザパターニング法による感熱性機能層の構造化は問題が残っている。衝撃波誘起薄膜剥離(SWIFD)プロセスは並外れた適用可能性を示すもので,機械的誘起膜除去の非熱的プロセスである。基板の裏側で行われるレーザアブレーションの空間的分離,および基板のフィルム側での衝撃波誘起薄膜剥離により,薄膜への熱衝撃を排除する。外部印加張力Fへの依存性に対して,ポリイミド基板上のCIGS太陽電池のSWIFDプロセスを研究した。その結果としてのSWIFDパターンを走査型電子顕微鏡観察(SEM)によって画像化し,幾何学的形状および表面形態を分析する。張力Fの増加と共にCIGS剥離閾値フルエンスΦ_thが減少し,剥離面積Aがわずかに増加することが分かった。以前の結果と同様に,面積Aは,レーザフルエンスおよびレーザパルス数の増加に伴って増加し,Φ_thはレーザパルス数の増加とともに減少する。Mo背面コンタクトを損傷することなく,CIGS層(前面コンタクトを含む)の膜選択的剥離を実現できるSWIFDプロセスの非熱的性質も示す。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フレキシブル基板 ,  *剥離 ,  パルスレーザ ,  インジウム化合物 ,  ガリウム化合物 ,  セレン化物 ,  銅化合物 ,  *太陽電池 ,  *衝撃波 ,  *層間剥離 ,  *パターン形成 ,  *レーザ照射 ,  除去 ,  レーザアブレーション ,  熱衝撃 ,  接触 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  画像分析 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  フルエンス ,  面積 ,  レーザパルス ,  モリブデン
準シソーラス用語： ナノ秒レーザ ,  CIGS ,  薄層剥離 ,  SWIFD ,  塗膜除去 ,  ポリイミド基板 ,  バックコンタクト ,  幾何形状 ,  表面形態 ,  レーザフルエンス ,  剥離面積 ,  *CIGS太陽電池

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  太陽電池  (NC03084O)

引用文献 (17件)：

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• J. Hermann, M. Benfarah, G. Coustillier, S. Bruneau, E. Axente, J.F. Guillemoles, M. Sentis, P. Alloncle, T. Itina: Appl. Surf. Sci., 252, (2006) 4814.
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• A. Wehrmann, S. Puttnins, L. Hartmann, M. Ehrhardt, P. Lorenz, K. Zimmer: Opt. Laser Technol., 44, (2012) 1753.

タイトルに関連する用語 (7件)： フレキシブル基板 ,  CIGS ,  応力 ,  支援 ,  衝撃波 ,  誘起 ,  膜剥離