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J-GLOBAL ID：201802254142675971   整理番号：18A2017690

機能性厚膜の成膜技術と最新動向 分子プレカーサー法の厚膜成膜への展開

著者 (2件)： 佐藤光史 (工学院大 先進工) ,  永井裕己 (工学院大 先進工)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 69  号： 11  ページ： 507-510  発行年： 2018年11月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・分子プレカーサー法(MPM)とは,ウェルナー錯体と言われる比較的安定な金属錯体に注目した,主に金属酸化物やリン酸塩化合物,さらには金属単体の機能性膜形成法。
・エチレンジアミン四酢酸(EDTA)やニトリロ三酢酸(NTA)などの汎用的配位子を用いた安定な金属錯体と,適切なアルキルアミンを酸塩基反応によって反応させると多種類の溶媒に溶解する組成物を獲得。
・スピンコート法,スプレー法,または静電スプレー析出法によって,プレカーサー溶液を厚膜化。

シソーラス用語： *厚膜 ,  前駆体 ,  静電塗装 ,  スピンコーティング ,  スプレー塗装 ,  被覆 ,  脂肪族アミン ,  中和反応 ,  脂肪族カルボン酸 ,  アミノカルボン酸 ,  ジアミン ,  第三アミン
準シソーラス用語： ディップコーティング法

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (2件)： EDTA ,  NTA

引用文献 (17件)：

• 1)H. Werner ; Angew. Chem. Int. Ed., 52, 6146(2013).
• 2)H. Nagai, T. Suzuki, Hara, C. Mochizuki, I. Takano, T. Honda, M. Sato ; Mater. Chem. Phys., 137, 252(2012).
• 3)H. Nagai, T. Suzuki, H. Hara, C. Mochizuki, I. Takano, T. Honda, M. Sato ; Sci. Adv. Mater., 6, 603(2014).
• 4)M. Sato, H. Hara, T. Niside, Y. Sawada ; J. Mater. Chem., 6, 1767(1996).
• 5)T. Nishide, M. Sato, H. Hara ; J. Mater. Sci., 35, 465(2000).

タイトルに関連する用語 (7件)： 機能性 ,  厚膜 ,  成膜 ,  最新動向 ,  分子 ,  プレカーサー ,  展開