文献

J-GLOBAL ID：201802255872135716   整理番号：18A0509380

テラヘルツ時間領域分光法によるCPW基質としての環状オレフィン共重合体薄膜とその誘電特性の開発と特性化【Powered by NICT】

Development and characterization of cyclic olefin copolymer thin films and their dielectric characteristics as CPW substrate by means of Terahertz Time Domain Spectroscopy

著者 (10件)： Diaz-Albarran L.M. (Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain) ,  Diaz-Albarran L.M. (Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico) ,  Lugo-Hernandez E. (Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain) ,  Lugo-Hernandez E. (Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico) ,  Ramirez-Garcia E. (Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico) ,  Enciso-Aguilar M.A. (Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico) ,  Valdez-Perez D. (Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico) ,  Cereceda-Company P. (Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain) ,  Granados D. (Instituto IMDEA-nanociencia, Calle Faraday, 9, 28049 Madrid, Spain) ,  Costa-Kraemer J.L. (Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 191  ページ： 84-90  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環状オレフィン共重合体(COC)薄膜と0.3THzと2THz(テラヘルツ)の電気特性の作製における最近の進歩を述べた。COC膜は種々の濃度のトルエン中で原料を溶解することにより作製した。COCの固体薄膜を作製するために使用した三種類の方法:スピンコーティング(SC),社内開発した技術真空溶媒脱着(VSD),熱溶媒脱着(TSD)。粗さ,厚さ,および均一性のような膜特性を比較した。これらの研究は,最低の粗さ,最高の均一性,および薄膜の厚さで最善の制御を保証する技術を確立した。も複素誘電関数ε(f)に関連した分散と損失に及ぼす膜の粗さと均一性の影響を調べた。,三つの方法によって作製したCOC薄膜の誘電関数を得るために2THzまでのテラヘルツ時間領域分光法(THz TDS)特性化を使用し,これらの値の文献,最新の高分子材料BCBの値と比較した。COCは低分散(誘電関数の実部は2THzまでの周波数でほぼ一定である),製造法に関係なく低損失,および粗さと不均一性による損失は無視できることが分かった。最後に,コプレーナ導波路の設計,その損失特性(0.1 0.6 THz),およびCOC基板上に微細加工プロセスを報告した。これらの結果は,COC膜は低損失で低コストのTHz電子デバイスとオプトエレクトロニクスを開発するための深刻な競争者であることを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微細加工 ,  誘電関数 ,  *キャラクタリゼーション ,  *テラヘルツ波 ,  オプトエレクトロニクス ,  脱着 ,  周波数 ,  スピンコーティング ,  不均一性 ,  *薄膜 ,  *誘電性 ,  電気特性 ,  コプレーナ導波路
準シソーラス用語： 高分子材料 ,  *テラヘルツ時間領域分光法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： COC ,  テラヘルツ時間領域分光法(TDS) ,  THzコプレーナ導波路(CPW)

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (8件)： テラヘルツ時間領域分光法 ,  CPW ,  基質 ,  環状オレフィン共重合体 ,  薄膜 ,  誘電特性 ,  開発 ,  特性化