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J-GLOBAL ID：201802260536455670   整理番号：18A0537142

ベータPVDF膜マイクロパターニングに及ぼすintermitted RIEエッチングの影響【Powered by NICT】

Effect of intermitted RIE etching on the beta-PVDF film micro patterning

著者 (2件)： Miki Sugii Ryota Hirofumi (Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Japan) ,  Tsuchitani Shigeki (Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MHS  ページ： 1-6  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,Qualityof lifeの観点からみた,カテーテルまたは内視鏡を用いた低侵襲手術は非常に注目されている。しかし,この方法は,外科処置中の触覚が不足しているという大きな問題がある操作は困難と開業医の負担が増加するのをものとされるようになった。,高感度と高解像度触覚センサは,最小侵襲性手術器具の先端に付着したすることができれば,触診が可能となり低侵襲手術の安全性は[1]~改善できる。は三種類の触覚センサの後主に:静電容量式,可変抵抗型と圧電型。(R)静電容量型は,雑音に対して弱く,回路設計は複雑であり,同時に,も信頼性とコスト問題である。(R)抵抗変化型は,そのヒステリシス(ヒステリシス現象)による再現性の問題があり,それはまた安定性/信頼性の問題点と大電力消費であった。(C)圧電型では,センシング特徴は,のみ動圧と温度変化~[2]への応答を提供することである。ヒト触覚感覚は本来動的プロセス圧電型のセンシング特徴は問題ではないようで,温度の影響は温度センサを用いた温度補償を用いて解くことができる。は主に二種類の圧電材料の,セラミックであり,もう一つは高分子である。セラミックス型では,ジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)は,その高い圧電定数のために広く使用されているが,PZTは鉛のような有害物質,柔軟性,加工性と成形性の欠如を含んでいるため,PZTは医療応用で触覚センサ材料として良好な選択ではない。高分子型では,ポリフッ化ビニリデン(PVDF)触覚センサの感知材料として広く用いられている,PVDFは高分子中の最高の圧電定数を示すので,それはまたは軽量,柔軟で,生体適合性である。低侵襲医療機器への触覚センサを適用するためには,感度と分解能は,それぞれ1g/mm~2と0.2mm~[3,4]のレベルで実現できることが望ましい。触覚センサにおける従来の研究は電極パターンは,PVDF膜~[5]の表面上に配置されたレベルのままであった。この方法は電極のピッチが4mm以下になるとクロストーク問題を引き起こす。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ヒト ,  信頼性 ,  圧電気 ,  触覚 ,  セラミック ,  生体適合性 ,  ヒステリシス ,  高分子 ,  再現性 ,  *触覚センサ ,  安全性 ,  柔軟性 ,  カテーテル ,  静電容量 ,  ポリフッ化ビニリデン

分類 (1件)： 医療用機器装置  (GA05020L)

タイトルに関連する用語 (4件)： PVDF膜 ,  マイクロパターニング ,  RIE ,  エッチング