文献

J-GLOBAL ID：201802261056383165   整理番号：18A0118431

多結晶シリコンPL像中の転位領域の非負値行列因子分解による推定

Estimation by non-negative matrix factorization of dislocation regions in photoluminescence image of multicrystalline silicon

著者 (5件)： 工藤博章 (名古屋大) ,  羽山優介 (名古屋大) ,  松本哲也 (名古屋大) ,  沓掛健太朗 (名古屋大) ,  宇佐美徳隆 (名古屋大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 356(IMQ2017 20-23)  ページ： 13-18  発行年： 2017年12月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 多結晶シリコンウェハのPL像に対して,ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った。非負値行列因子分解の手法を用いて,画像を再構成し,転位領域で再構成誤差が大きくなることを仮定した。また,転位領域は暗い領域を仮定した。負の係数を許容するスパースコーディングによる手法より,良好な結果を得た。また,学習には転位領域を含まない方が良い結果を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリシリコン ,  *転位【結晶】 ,  因数分解 ,  格子欠陥 ,  推定 ,  *光学画像 ,  画像再構成 ,  光ルミネセンス ,  教師つき学習 ,  誤差 ,  *画像分析 ,  行列
準シソーラス用語： 多結晶シリコン ,  非負行列 ,  非負行列因子分解

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

引用文献 (5件)：

• TRUPKE Thorsten, MCMILLAN Wayne,太陽電池の検査を高速化するフォトルミネセンス撮像法,Laser Focus Wold Japan,34-36,2011.
• 羽山優介,松本哲也,沓掛健太朗,高橋勲,工藤博章,宇佐美徳隆,データ科学的手法を用いた多結晶Si中の転位発生・伝搬の可視化,第78回応用物理学会秋季学術講演会,5a-A204-4,2017.
• 工藤博章,羽山優介,松本哲也,沓掛健太朗,宇佐美徳隆,多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討,電子情報通信学会技術研究報告,117,229, IMQ2017-19,29-34,2017.
• 日野英逸,村田昇,スパース表現の数理とその応用,情報処理学会研究報告,2012-CVIM-183,20,1-10,2012.
• Scikit-learn: Machine Learning in Python, Pedregosa et al., JMLR, 12, 2825-2830, 2011.

タイトルに関連する用語 (5件)： 多結晶シリコン ,  PL ,  転位 ,  非負値行列因子分解 ,  推定