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J-GLOBAL ID：201802261149520849   整理番号：18A1262138

ダブルMCPシステムによる高分解能ERDAの開発とH及びD検出限界の決定【JST・京大機械翻訳】

Development of high-resolution ERDA with double MCP system and determination of detection limit for H and D

著者 (9件)： Sekiba D. (Institute of Applied Physics, University of Tsukuba, Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8573, Japan) ,  Sekiba D. (University of Tsukuba, Tandem Accelerator Complex (UTTAC), Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8577, Japan) ,  Tamura T. (Institute of Applied Physics, University of Tsukuba, Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8573, Japan) ,  Harayama I. (Institute of Applied Physics, University of Tsukuba, Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8573, Japan) ,  Watahiki Y. (University of Tsukuba, Tandem Accelerator Complex (UTTAC), Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8577, Japan) ,  Ishii S. (University of Tsukuba, Tandem Accelerator Complex (UTTAC), Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8577, Japan) ,  Ozeki K. (Department of Mechanical Engineering, Ibaraki University, Nakanarusawa 4-12-1, Hitachi, Ibaraki 316-8511, Japan) ,  Fukata N. (Institute of Applied Physics, University of Tsukuba, Tennodai 1-1-1, Tsukuba, Ibaraki 305-8573, Japan) ,  Fukata N. (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 430  ページ： 6-10  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素(H)とその同位体のためのHERDA(高分解能弾性反跳検出分析)における検出限界の改良のために,二重MCP(マイクロチャネルプレート)システムを開発した。一つのMCPは水素(または重水素(D))の反跳を検出し,他の一つはストッパ箔から放出される二次電子を検出する。暗電流雑音は2%まで低減されるが,検出効率はまだ80%のままである。HとDに対する改良検出限界は,それぞれ360sに対して~6.3×10~19原子/cm~3(~0.06at.%),114sに対して~2.3×10~20原子/cm~3を達成した。また,検出限界への他の軽元素の反跳の寄与は,HとDの両方が試料中に含まれる以前の研究との比較から決定的であることが分かった。開発したシステムは,D_2アニーリングにより引き起こされたSiO_2薄膜(t=5nm)におけるD深さプロファイルを成功裏に決定した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 深さプロフィル ,  検出効率 ,  *高分解能 ,  焼なまし ,  マイクロチャネルプレート ,  雑音 ,  同位体 ,  薄膜 ,  水素 ,  暗電流 ,  ストッパ ,  *検出限界 ,  軽元素 ,  二次電子 ,  ERD分析

著者キーワード (3件)： 高分解能ERDA ,  水素 ,  検出限界

分類 (3件)： イオンとの相互作用  (BK16070Z) ,  イオンとの衝突・散乱  (BH04040Q) ,  無機物質中の元素の放射化学的分析  (CC06022C)

タイトルに関連する用語 (4件)： MCP ,  高分解能 ,  開発 ,  検出限界