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J-GLOBAL ID：201802261547519035   整理番号：18A1334286

同軸アークプラズマ蒸着により作製した超ナノ結晶ダイヤモンド/非晶質炭素複合膜の熱伝導率に及ぼす水素化の影響

Effects of hydrogenation on thermal conductivity of ultrananocrystalline diamond/amorphous carbon composite films prepared via coaxial arc plasma deposition

著者 (7件)： TAKEICHI Satoshi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  NISHIYAMA Takashi (Fukuoka Univ., Fukuoka, JPN) ,  TABARA Mitsuru (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  KAWAWAKI Shuichi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  KOHNO Masamichi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  TAKAHASHI Koji (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  YOSHITAKE Tsuyoshi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 11  号： 6  ページ： 065101.1-065101.4  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超ナノ結晶性ダイヤモンド(UNCD)/水素化非晶質炭素(a-C:H)複合材料(UNCD/a-C:H)とUNCD/非水素化非晶質炭素(a-C)複合材料(UNCD/a-C)膜を同軸アークプラズマ蒸着により作製し,結晶粒界の熱伝導率と界面コンダクタンスを時間領域熱反射法を用いて測定した。界面コンダクタンスはUNCD/a-C:HとUNCD/a-C膜に対して,それぞれ,1,010と4,892MW/(m²・K)と推定された。非水素化膜より低い界面コンダクタンスを持つ水素化膜の理由は,1)熱輸送に寄与するキャリア数の減少,および,2)結晶粒界に優先的に位置し,フォノン散乱を増強する水素原子である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  ナノ結晶 ,  *薄膜 ,  炭素材 ,  複合膜 ,  *熱伝導率 ,  水素化 ,  複合材料 ,  結晶粒界 ,  コンダクタンス
準シソーラス用語： アークプラズマ ,  *プラズマ蒸着 ,  超ナノ結晶 ,  *ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  非晶質炭素 ,  熱反射法 ,  時間領域反射測定法

分類 (1件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

引用文献 (26件)：

• J. J. Gracio, Q. H. Fan, and J. C. Madaleno, J. Phys. D 43, 374017 (2010).
• B. Lux and R. Haubner, Ceram. Int. 22, 347 (1996).
• G. Wang, X. Lu, M. Ding, Y. Liu, W. Tang, and B. Zhang, Diamond Relat. Mater. 73, 105 (2017).
• R. Zhang, W. S. Zhao, W. Y. Yin, Z. G. Zhao, and H. J. Zhou, Diamond Relat. Mater. 52, 25 (2015).
• M. Alomari, M. Dipalo, S. Rossi, M.-A. Diforte-Poisson, S. Delage, J.-F. Carlin, N. Grandjean, C. Gaquiere, L. Toth, B. Pecz, and E. Kohn, Diamond Relat. Mater. 20, 604 (2011).

タイトルに関連する用語 (9件)： 同軸 ,  アーク ,  プラズマ蒸着 ,  作製 ,  ナノ結晶ダイヤモンド ,  非晶質炭素 ,  複合膜 ,  熱伝導率 ,  水素化