Kim Ho Jun について
Department of Mechanical Engineering, Dong-A University, Busan 49315, South Korea について
Lee Hae June について
Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan 46241, South Korea について
Journal of Applied Physics について
気体流 について
速度分布 について
プラズマCVD について
密度分布 について
薄膜 について
堆積速度 について
境界条件 について
円筒 について
温度分布 について
電子密度 について
混合気体 について
反応器 について
中圧 について
容量結合プラズマ について
容量結合 について
プラズマ診断 について
気体放電 について
半導体薄膜 について
プラズマ一般 について
容量結合プラズマ について
反応器 について
温度分布 について
Si について
堆積 について
速度プロファイル について
均一性 について