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J-GLOBAL ID：201802266323809293   整理番号：18A1676668

電熱MEMSミラーの熱信頼性研究【JST・京大機械翻訳】

Thermal Reliability Study of an Electrothermal MEMS Mirror

著者 (4件)： Wang Haoran (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Zhou Liang (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Zhang Xiaoyang (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Xie Huikai (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
資料名： IEEE Transactions on Device and Materials Reliability  (IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻： 18  号： 3  ページ： 422-428  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1320A  ISSN： 1530-4388  CODEN： ITDMA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電熱バイモルフアクチュエータに基づくマイクロ電気機械ミラーは,大きな走査範囲,低い駆動電圧,および高い充填率の非平行な利点を有するが,それらの信頼性問題は十分に理解されていない。主な破壊現象の一つは電熱バイモルフアクチュエータ構造に埋め込まれた耐火金属抵抗器のバーンアウトである。本論文では,バーンアウト過程を電気的および光学的試験により徹底的に研究した。特に,埋め込まれた抵抗器を通過する電流は,全体のバーンアウト過程を通してモニターされた。バーンアウトは,貧弱なステップ被覆率,短絡,過熱,およびエレクトロマイグレーションにおける電気的破壊を含む異常の多重ステップによって引き起こされることがわかった。電気モデルと集中要素熱モデルを確立し,電気機械的有限要素法シミュレーションを行った。モデリングとシミュレーション結果は全て実験結果と良く一致した。これらの発見は,より良い信頼性のための将来の設計を大いに改善する助けとなるCopyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *信頼性 ,  被覆率 ,  バーンアウト ,  多重化 ,  アクチュエータ ,  抵抗器 ,  モデリング ,  エレクトロマイグレーション ,  シミュレーション ,  電気機械 ,  *電気加熱 ,  電流
準シソーラス用語： 駆動電圧 ,  バイモルフ ,  *マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電熱 ,  MEMSミラー ,  研究