Miyazoe Hiroyuki について
IBM, T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, New York 10598 について
Marchack Nathan について
IBM, T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, New York 10598 について
Bruce Robert L. について
IBM, T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, New York 10598 について
IBM, T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, New York 10598 について
Nakamura Masahiro について
Zeon Specialty Materials Inc., San Jose, California 95134 について
Miller Eric について
IBM Albany Nanotech, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203 について
Kanakasabapathy Sivananda について
IBM Albany Nanotech, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203 について
Suzuki Takefumi について
Zeon Corporation, Kawasaki 210-9507, Japan について
Ito Azumi について
Zeon Corporation, Kawasaki 210-9507, Japan について
Matsumoto Hirokazu について
Zeon Corporation, Kawasaki 210-9507, Japan について
Engelmann Sebastian U. について
IBM, T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, New York 10598 について
Joseph Eric A. について
IBM, T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, New York 10598 について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena について
蒸着 について
ブランケット について
凹形 について
再現性 について
スペーサ について
FET【トランジスタ】 について
構造解析 について
フィン について
プラズマ について
窒化物 について
パターン形成 について
エッチング について
脂肪族フッ素化合物 について
デューティサイクル について
パルスプラズマ について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
ハイドロフルオロカーボン について
窒化物 について
エッチング について