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J-GLOBAL ID：201802268895495334   整理番号：18A2052322

基板上の有機汚染除去のためのラジカル蒸気反応器におけるグリーン表面洗浄

Green Surface Cleaning in a Radical Vapor Reactor to Remove Organic Fouling on a Substrate

著者 (11件)： YAMASAKI Ryota (Research Center for Eco-fitting Technology, Kyushu Institute of Technology) ,  YAMASAKI Ryota (Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology) ,  YAMASAKI Ryota (Advanced Catalytic Transformation Program for Carbon Utilization (ACT-C), Japan Science and Technology Agency (JST)) ,  TAKATSUJI Yoshiyuki (Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology) ,  MORIMOTO Masayuki (Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology) ,  MORIMOTO Masayuki (Advanced Catalytic Transformation Program for Carbon Utilization (ACT-C), Japan Science and Technology Agency (JST)) ,  SAKAKURA Tatsuya (Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology) ,  MATSUO Keishi (Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology) ,  HARUYAMA Tetsuya (Research Center for Eco-fitting Technology, Kyushu Institute of Technology) ,  HARUYAMA Tetsuya (Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology) ,  HARUYAMA Tetsuya (Advanced Catalytic Transformation Program for Carbon Utilization (ACT-C), Japan Science and Technology Agency (JST))
資料名： Electrochemistry (Web)  (Electrochemistry (Web))
巻： 86  号： 6  ページ： 355-362(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U1358A  ISSN： 2186-2451  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体表面上の付着有機汚染のためのグリーンクリーンアッププロセスはラジカル蒸気反応器(RVR)を用いて成功裏に行うことができる。RVRは,高濃度の活性酸素種(ROS,例えば一重項酸素(¹O₂)およびヒドロキシルラジカル(・OH))を生成することができ,それらを目的物質に曝露することができる。RVRは殺菌と表面機能化の分野で優れた有用性を見出した。本研究では,RVRを有機高分子と蛋白質により汚染された固体表面のグリーンクリーンアップに用いた。RVRはROSを生産し,固体表面から接着した有機ポリマーと蛋白質を除去した。ROSがファウリング分子と反応する機構も表面分析により解明した。このグリーンRVR浄化プロセスの最大の利点は,空気と水だけを排出することである。RVRによるROS産生と曝露は,付着した有機ポリマーと蛋白質を,いかなる化学物質も無しで,周囲温度と圧力でうまく浄化した。この高品質で低コストの洗浄技術は,多くの時間を必要とせず,有害廃棄物を生成しないので,洗浄産業に大きな貢献をする。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *汚染物質 ,  *洗浄 ,  反応器 ,  環境保全 ,  クリーンアップ法 ,  活性酸素 ,  *一重項酸素 ,  *ヒドロキシルラジカル ,  殺菌 ,  *表面処理 ,  反応機構 ,  表面分析 ,  ウエハ【IC】 ,  排出物 ,  浄化 ,  ポリエチレンオキシド ,  表面機能 ,  *有機汚染物質 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  ポリエチレングリコール ,  表面洗浄

著者キーワード (4件)： ラジカル蒸気反応器 ,  表面洗浄 ,  活性酸素種 ,  有機汚染

分類 (3件)： その他の汚染原因物質  (SB05040W) ,  固-液界面  (CB12050B) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

引用文献 (41件)：

• 1) A. N. Rider, N. Brack, S. Andres, and P. J. Pigram, J. Adhes. Sci. Technol., 18, 1123 (2004).
• 2) J. M. Knaup, C. Köhler, T. Frauenheim, A. T. Blumenau, M. Amkreutz, P. Schiffels, B. Schneider, and O. D. Hennemann, J. Phys. Chem. B, 110, 20460 (2006).
• 3) H. A. B. Wösten, M.-A. Van Wetter, L. G. Lugones, H. C. Van Der Mei, H. J. Busscher, and J. G. H. Wessels, Curr. Biol., 9, 85 (1999).
• 4) J. U. Bowie, Nature, 438, 581 (2005).
• 5) W. Cho and R. V. Stahelin, Annu. Rev. Biophys. Biomol. Struct., 34, 119 (2005).

タイトルに関連する用語 (6件)： 汚染除去 ,  ラジカル ,  蒸気 ,  反応器 ,  グリーン ,  表面洗浄