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J-GLOBAL ID：201802269581032417   整理番号：18A2085380

半導体製造装置における空気圧サーボ技術

著者 (1件)： 涌井伸二 (東京農工大 大学院工学研究院)
資料名： フルードパワーシステム  (日本フルードパワーシステム学会誌)
巻： 49  号： 6  ページ： 277-280  発行年： 2018年11月15日 
JST資料番号： S0170B  ISSN： 1346-7719  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・半導体製造装置である露光装置には数種類の空圧機器が稼働しており,中でも空気消費量が最大で最も過酷な動かされ方をしている精密ステージに振動を混入させない空圧式除振装置の原理を解説。
・空圧式除振装置の構造,スカイフックダンピングを活用した制御系,そして床からの振動と光学系の加減速駆動による振動の両方の除振および制振が必要なことを説明。
・設計/運用する際の留意点として,電流ドライバ,ノズルフラッパ型サーボバルブ(NFSV)のヒステリシス特性,NFSVの高周波数振動,空気ばね推力のバラツキ,配管共振,そして加速度センサの周波数特性を解説。
・除振装置設計のポイントは,アクチェータであるNFSVの選定と駆動回路の構造,加えて振動検出のための加速度センサの特性。

シソーラス用語： リソグラフィー ,  *空気圧システム ,  *防振装置 ,  アクティブ制御 ,  サーボ弁 ,  ヒステリシス ,  HF【周波数】 ,  空気ばね ,  分散【variance】 ,  周波数特性 ,  速度センサ ,  駆動回路 ,  スカイフック制御 ,  ノズルフラッパ ,  ばらつき ,  高周波振動 ,  *露光装置
準シソーラス用語： *空圧式除振装置 ,  配管共振 ,  半導体製造装置

分類 (2件)： 油圧・空気圧機器  (QD04020X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• 特許機器(株):除振台の水平位置の維持と水平振動の除振方法並びにその回路,特許第2673321号(1997)
• 涌井伸二,渡辺智仁,高橋正人:空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果,日本機械学会論文集C,Vol.75,No.755,p.1941-1949(2009)
• キヤノン:能動的除振装置,特許第3286201号(2002)
• Wakui, S.:Incline Compensation Control using an Air-spring Type Active Isolated Apparatus, Precision Engineering, Vol.27,No.2,p.170-174(2003)
• 日本航空電子:低ノイズ加速計の開発(JA-40GA) https://www.jae.com/jp/gihou/gihou29/pdf/g_14.pdf

タイトルに関連する用語 (2件)： 半導体製造装置 ,  空気圧