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J-GLOBAL ID：201802275105034988   整理番号：18A1682682

リモートシランプラズマにおける粒子挙動とその膜成長への寄与【JST・京大機械翻訳】

Particle behavior and its contribution to film growth in a remote silane plasma

著者 (3件)： Kim Yeonwon (Division of Marine Mechatronics, Mokpo National Maritime University, 91 Haeyangdaehak-ro, Mokpo-si 58628, Jeollanam-do, Korea) ,  Koga Kazunori (Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Shiratani Masaharu (Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36  号： 5  ページ： 050601-050601-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遠隔シランプラズマ中のレーザ光散乱法を用いて測定した粒子の時間依存挙動を,発光分光法と水晶微量天秤を用いて調べた。レーザ散乱粒子はプラズマ着火の0.3秒後に観測され,散乱は3.0秒まで急速に増加した。粒子が観察されない0~0.3sの領域では,SiHとHβの発光強度だけでなく,Si/SiHとHβ/SiHの強度比も急速に増加した。レーザ散乱粒子はプラズマ放電後3.0秒で減少したが,水晶微量天秤を用いて測定した堆積速度は直線的に増加した。粒子運動の時間分解画像と膜堆積への寄与,SiHとHβのようなプラズマ特性との関係を示した。その結果,プラズマの初期段階における膜成長に寄与する粒子は,安定状態におけるそれらよりもはるかに高いことを示した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 発光分光法 ,  高速度 ,  *プラズマ ,  *薄膜成長 ,  時間依存性 ,  堆積速度 ,  画像 ,  *シラン
準シソーラス用語： プラズマ特性 ,  粒子運動 ,  プラズマ放電 ,  発光強度 ,  レーザ散乱 ,  水晶微量天秤 ,  レーザー光散乱 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 挙動 ,  膜成長