文献

J-GLOBAL ID：201802282657984141   整理番号：18A1013813

周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子

Polarity inverted cubic PMN-PT/ tetragonal PZT epitaxial film resonators for frequency switchable filters

著者 (5件)： 清水貴博 (早稲田大 先進理工) ,  清水貴博 (各務記念材料技術研) ,  柳谷隆彦 (早稲田大 先進理工) ,  柳谷隆彦 (各務記念材料技術研) ,  柳谷隆彦 (JST-さきがけ)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 118  号： 48(US2018 11-19)  ページ： 29-34  発行年： 2018年05月14日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って,フィルタ搭載数が増加している。その解決策の1つとして,1つのフィルタに周波数スイッチナブルの機能を付加することが期待されている。通常,分極が一方向の薄膜共振子は基本モードで,分極反転n層構造ではn次モードで共振する。すなわち,成膜後に分極制御可能な共振子ならば基本モードとn次モードを切り替えることができ,周波数fとnfのフィルタを実現できると考えられる。本研究では,常誘電相PMN-PTと強誘電相PZTを交互に成膜し,2層構造の薄膜共振子を作製した。その結果,正電圧を印加すると分極反転構造となり2次モード(779MHz),負電圧を印加すると分極が一方向の構造となり基本モード(327MHz)で共振し,周波数スイッチナブル動作に成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： 周波数変換 ,  薄膜 ,  分極反転 ,  エピタクシー ,  成層 ,  *音響共振器 ,  常誘電体 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶方位 ,  X線回折 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  結合係数 ,  *素子構造 ,  *ヒステリシス損 ,  濾波器 ,  *圧電フィルタ
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  エピ層 ,  圧電薄膜 ,  単層膜 ,  電気機械結合係数

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (6件)： PMN-PT ,  PZT ,  分極反転 ,  エピ膜 ,  音響 ,  共振子